Устройство для лазерного напыления

 

1. Устройство для лазерного напыления, включающее импульсный лазер, объектив, мишень, механизм смены мишеней, подложку с напыляемой пленкой, нагреватель подложки и устройство сепарации напыляемых частиц, отличающееся тем, что устройство сепарации напыляемых частиц выполнено в виде вращающегося диска.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что диск выполнен с прорезью, причем конфигурация прорези соответствует конфигурации напыляемой пленки, а линейная скорость движения прорези определена соотношением: v > L/t, где v - линейная скорость прорези; L - линейный размер напыляемой пленки в направлении, перпендикулярном радиусу сепаратора; t - пауза между приходом атомно-молекулярной компоненты и капельной фазы на пленку.

3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что вращение диска и запуск лазера синхронизованы таким образом, что прорезь диска устройства сепарации напыляемых частиц расположена между мишенью и подложкой в момент прихода лазерного импульса на мишень.

4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что с внешней стороны диска расположены лопатки.

5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что размер каждой из лопаток вдоль направления радиуса диска больше размера напыляемой пленки в том же направлении, а размер каждой из лопаток в направлении, перпендикулярном плоскости диска, и расстояние между лопатками определяется соотношением: l/v > s/V, где l - размер лопатки в направлении, перпендикулярном плоскости диска; v - скорость разлета капель; s - расстояние между лопатками;
V - линейная скорость лопаток.




 

Наверх