С помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (C23C14/46)

C23C14/46              С помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (C23C14/40 имеет преимущество)(7)

Устройство для нанесения тонкопленочных покрытий // 154033
Полезная модель относится к классу устройств, позволяющих наносить из низкотемпературной плазмы на подложку покрытие, в том числе и наноразмерное.

Устройство импульсного лазерного осаждения наноструктурированных материалов // 135638
Полезная модель относится к лазерной технике и технике вакуумного напыления, в частности к устройствам, применяемым для создания наноструктурированных материалов, а именно, для роста пленок, многослойных тонкопленочных структур и синтеза наночастиц полупроводников, диэлектриков, металлов, полимеров и биосовместимых материалов методом импульсного лазерного осаждения.
 
2548684.
Наверх