PoleznayaModel.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Работающие с катодным распылением (H01J37/34)
H
Электричество
(11368)
H01
Основные элементы электрического оборудования
(4684)
H01J
Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники
H01T
; дуговые лампы с расходуемыми электродами
H05B
; ускорители элементарных частиц
H05H
)
(378)
H01J37
Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J33,H01J40,H01J41,H01J47,H01J49 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B21)
(41)
H01J37/34 Работающие с катодным распылением (H01J37/36 имеет преимущество)
(1)
Узел магнетронного распыления
// 153588
Полезная модель относится к распылительному вакуумному оборудованию и может быть использована в качестве базового распылительного оборудования в составе системы вакуумного распыления в магнетронах и установках для катодного осаждения.
Узел магнетронного распыления
// 153586
Устройство для нанесения оксидных композиционных покрытий
// 92240
2548147
.