Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности и материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты и устройства, специально приспособленные для этих целей (G03F7)
G03F7 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей (использующие фоторезистные структуры для специальных процессов см. соответствующие подклассы, например B44C,H01L, а также рубрики, например H01L21,H05K)(5)