Восстановлением галогенидов кремния или галогенсиланов металлом или металлическим сплавом в качестве единственных восстанавливающих агентов (C01B33/033)
C01B33/033 Восстановлением галогенидов кремния или галогенсиланов металлом или металлическим сплавом в качестве единственных восстанавливающих агентов(3)
Изобретение относится к производству поликристаллического кремния (ПК) и касается устройства для конверсии тетрахлорида кремния в ПК и его вывода из реакционной зоны с целью получения фотогальванических преобразователей энергии.