Патенты автора Суворов Дмитрий Владимирович (RU)

Вакуумный модуль для анализа элементного состава нанослоев, содержащий энергетический анализатор в виде циллиндрического зеркала с фокусировкой "ось-ось", а также ионную пушку, вакуумный фланец с электрическими выводами..

Полезная модель относится к области анализа энергий и масс заряженных частиц, эмиттируемых с поверхности твердого тела под воздействием первичного излучения, и может быть использована для организации комбинированных исследований вещества методами электронной оже-спектроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов.

Полезная модель относится к области анализа энергий и масс ионов, эмиттируемых с поверхности твердого тела под воздействием первичного излучения, и может быть использована в масс-спектрометрии вторичных ионов и лазерной масс-спектрометрии с разрешением ионных потоков по энергиям, или в спектроскопии обратно рассеянных ионов с разрешением по массам.

Полезная модель относится к области анализа потоков заряженных частиц по массам, энергиям и направлениям движения в космическом или околокосмическом пространстве. .
Наверх