Другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля (H01J27/14)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H) (378)

H01J27 Приборы с ионным пучком (H01J25,H01J33 и H01J37 имеют преимущество; ускорители элементарных частиц H05H) (10)

H01J27/14 Другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля(1)

Многоканальный ионный источник // 91469

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для получения ионных пучков, и может быть использовано, например, для травления или локального утонения различных материалов и структур.

2549031.