Приборы с ионным пучком (H01J27)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H) (378)

H01J27 Приборы с ионным пучком (H01J25,H01J33 и H01J37 имеют преимущество; ускорители элементарных частиц H05H)(10)

H01J27/02 - Ионные источники; ионные пушки (устройства для манипулирования частицами, например фокусирование, G21K1; генерирование ионов, поступающих в незамкнутое газовое пространство, H01T23; генерирование плазмы H05H1/24)(3)

H01J27/04 - С использованием отражательного разряда, например ионные источники пеннинга(2)

H01J27/14 - Другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля(1)

H01J27/16 - С использованием высокочастотного возбуждения, например сверхвысокочастотного(1)

H01J27/20 - С использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы(1)

H01J27/22 - Металлические ионные источники(1)

Устройство для стационарной генерации ионного пучка большой мощности // 145256

Устройство для создания потока плазмы // 116687

Источник ионов с электронной ионизацией для масс-спектрометра // 94056

Многоканальный ионный источник // 91469

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для получения ионных пучков, и может быть использовано, например, для травления или локального утонения различных материалов и структур.

Анод высокочастотного источника ионов // 88208

Устройство для создания однородной газоразрядной плазмы в технологических вакуумных камерах больших объемов // 87065

Электроискровой ионизатор // 85262

Источник газоразрядной плазмы // 81027

Ионное устройство нагнетания газа // 75789

Ионный источник // 57511

2548486.