Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция

(72) Авторы изобретения

Ь

1 . Г Смирнова, А. Н. Мосевич, Г, Н. Кудряшовф

Ленинградский ордена Ленина электротехннческ им. B. И. Ульянова (Лейина) и Ig;» ф.,:gsк лqтов, -"- 4 .!

< инстйту Ф -"- :(71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ .

МОНОКРИСТАЛЛОВ ТИТАНАТА СТРОН1ИЛЯ

1 . Изобретение относится к алектронной технике и может быть использовано, например для изготовления нелинейных: конденсаторов (НК), работающих при криогенных температурах.

В современной электронной технике . для изготовления НК используются монокристаллические пластины титаната стронция. При изготовлении НК одной иэ важ-. ных операций является удаление .механических загрязнений на поверхности после резки монокристаллов на пластины, их шлифовки и полировки.

Известно, что диэлектрические характеристики НК в значительной степени зависят от способа очистки поверхности монокристаллов, так как после самой тщательной механической обработки монокристалла всегда остается поверхностный слой загрязнений, который суФест- Zo венно снижает диэлектрические характе ристнки НК.

Наиболее близким к предлагаемому по техйнческой сущности является состав, 2 для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, включакший органические растворители: толуол, ацетон, иэопропиловый спирт и четыреххлористый углерод, в которых кристаллы обрабатывают последовательно прн температуре кипения растворителя 1 g .

Недостатки известного состава сос-. тоят в том, что применяемые компоненты огнеопасны и.токсичны и степень очистки поверхности монокристаллов титаната стронция недостаточно высока.

11ель изобретения - снижение токсичности и.огнеопасности и повышение качества очистки.

Поставленная цель достигается тем, что состав для очистки поверхности монокрнсталлов титаната стронция, сопержащий органический растворитель, дополнительно содержит перекись водорода н воду, а в качестве органического рас ворителя - щавелевую кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.%:.

998601

Щ авелевая кислота

Перекись водорода

Вода

Отпадает необходимость в специальном оборудовании (вытяжной шкаф с вентиляцией, ус тройс тво для обработки крис« таллов, парами четыреххлорис того углеу рода), так как четыре токсичных и огнеопасных растворителя заменяются одним безвредным и безопасным в работе водным раствором шевелевой кислоты и перекиси водорода.

36 Пример ° Очистку поверхности монокристаллов титаната стронция после

I нарезки их на пластины, шлифовки и полировки проводят в кипящем водном растворе щавелевой кислоты и перекиси !

В водорода.

Составы растворителей и диэлектрические характеристики НК, изготовленных из монокристаллических пластин титаната стронция обработанных этими раствораЯ, ми, представлены в таблице, l,6-40,5

О, 37-2, 25

Ос тальное

Диэлектрические характеристики НК

Тингенс диэлектрических потерь

Состав раствора

Содержание, мас,%

Управляемость мкость, пф

Шавелевая кисло та

1,63

Перекись водорода 2,25

45 10"4

3,33

Вода Ос тальное

Щавелевая кислота

3,37

6120

Перекись водорода

28-10

2,9.1,5

0,37 Вода

Остальное

Шавелевая кислота

40,5

Перекись водорода

55-10 "

2,9

1,47 52 70

7,2

Ос тальное

Предлагаемый состав обеспечивает N требуемую чистоту поверхности монокристаллов, необходимую для изготовления конденсаторов <-. высокими диэлектричессен.

Концентрация црвелевой кислоты в растворе должна быть в пределах

1,6-40,5 мас.%, перекиси водорода, 0,37-2,25 мас. %, При меньшем содер жании компонентов в растворе состав теряет свою активность. При превышении указанной концентрации одного из компонентов раствор взаимодействует не толь.Ко с адсорбированным слоем загрязняющих веществ, но и с самим кристаллом, превращая его полированную поверхность в матовую. После обработки такими составами кристаллы непригодны для, прнготовления из них конденсаторов, по этому их диэлектрические характеристики получить невозможно.

Диэлектри- гистерезис ческий, % кими характеристиками, и безвреден и безопасен в работе, .тогда как применяемый состав токсичен и огнеопаСоставитель В. Рыцарев

Редактор Н. Бббкова Техред Ж.Кастелевич Корректор 10° . Макаренко

Заказ 1087/49

Тираж 368 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам, изобретений н открытий

113035, М осква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 формула изобретения

Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, . одержащий органический растворитель, о тл и ч а ю ш и Й с я тем, что, с целью снижения токсичности и огнеопасности и повышения качества очистки он дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворителя - щавелевую кислоту при следукипем соотношении компонентов, мас. %:

9860 1 4

Щ авелевая кислота 1,6-40,5

Перекись водорода 0,37-2,25

Вода Остальное

5 Источники информапии, принятые во внимание при экспертизе

1. Каратун Л. Т., Климов В. А., и

Лихолетов К). В. Изготовление МДМ« структур, на основе монокристаллов р титаната стронция. Известия ЛЭТИ им. В. И. Ульянова (Ленина), 1980, вып. 279, с. 66 (прототип).