Устройство для изготовления образцов с косым шлифом

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

6 01 N 1/32 с присоединением заявки Нов (23} Приоритет—

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытий

Опубликовано 07.0283. Бюллетень Но 5 (ЯЗ) УДК 543.053 (088. 8) Дата опубликования описания 070283

l =. (72) Авторы изобретения

" ° В.Большаков и П.A.Пундур

Латвийский ордена Трудового Красного Знамен государственный университет им.П.Стучки (71) Заявитель . (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ

С КОСЫК ШЛИФОМ

Изобретение относится к технике подготовки образцов к исследованию и может быть использовано в промышленных условиях в техническом. процессе изготовления полупроводниковых изделий, на входном и выходном контроле качества материалов микроэлектроники и полупроводниковой техники, а также для проведения широкого круга науч-. 1{) ных исследований.

Известно устройство для восстановления зубьев шестерен травлением, состоящее иэ ванны с травителем, в которую погружаются шестерни, причем погружение может осуществ тяться механическим перемещением шестерни или изменением уровня травителя(13.

Качество стравливаемой поверхности невысоко при механическом перемещении из-за сильного влияния разного рода вибраций, а в случае изменения уровня травителя » из-эа отсутствия стабилизации скорости натекания трави- " теля в ванну.

Наиболее близким по техническзй сущности и достигаемому эффекту является устройство для изготовления образцов с косым шлифом методом травления, включающее верхнюю и нижнняо емкости. установленные на разных уровнях и соединенные трубкой. держатель с образцами, расположенными в нижней емкости. Образец погружа- . ется в травитель в результате подъема уровня травителя в нижней емкости(2 ).

Недостатком устройства является то, что при заполнении травителем нижней емкости постоянно меняется расстояние между уровнями травителя в емкостях,т.е. меняется давление столба травителя. что обязательно влечет за собой изменение скорости натекания и, следовательно. неравномерность заполнения нижней емкости травителем. что ведет к снижению качества.поверхности шлифа. ,Целью изобретения является повышение качества поверхности шлифа путем стабилизации скорости подачи травителя.

Поставленная цель достигается тем. что в устройстве для изготовления образцов с косым шлифом, включающем верхнюю и нижнюю емкости. заполненные травителем. установленные на разных уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами. верхняя емкость. снабжена крышкой и установленной в ней трубкой, нижний конец которой

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ -994959

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6t) Дополнительное к ав т. сеид-ву— (22) Заявлено 300381 (21) 3267207/23-26 )$1) М. КЛ.

994959 погружен в травитель, а нижняя емкость снабжена перегородкой с каналом, при этом нижний конец трубки, соединяющей емкости, расположен над уров,нем травителя в нижней емкости.

Устройство включает верхнюю емкость 1 с крышкой 2 и установленную в ней трубку 3, нижний конец которой погружен в травитель. Через крышку 2 проходит трубка 4, соединяющая верх- . нюю емкость 1 с нижней емкостью.5.

Нижняя емкость 5 разделена перегородкой 6 с каналом 7 на,цва отсека 8 и 9, в одном из которых установлены держатель 10 с образцами 11.

Устройство работает следующим образом.

Заполняют верхнюю емкость 1 травителем, закрывают ее крышкой 2, через отверстия в которой вводят трубки 3 и 4. Образцы 11 устанавливают в отсеке 9 емкости 5. Нижний конец трубки 4 вводят в верхнюю часть отсека 8 емкости 5.

Для подачи травителя из верхней емкости 1 в нижнюю 5 через трубку 3 подают воздух в емкость 1, повышая давление газа над травителем. Под действием давления травитель через трубку 4 поступает в отсек 8 емкости 5 и далее через канал 7 в отсек 9 для травления. 30

Со снижением уровня травителя в емкости 1 над травителем создается разряжение, при этом атмосферный воздух. поступая через трубку 3, поддерживает давление на уровне ниж- 35 него конца трубки 3, равное атмосферному.

Давление в травителе определяется столбом жидкости между нижними концами трубок 3 и 4, оно постоянно, и следовательно, постоянная скорость натекания травителя. При наполнении отсека 8 травителем различные участки образцов по вертикали травятся разное время, в результате чего нижние участки образцов стравливаются больше верхних. Ввиду постоянства скорости натекания травителя уровень

его повышается равномерно, косой шлиф имеет ровную линейную поверхность.

Скорость наполнения нижней емкости 5 может изменяться в зависимости от расположения верхней емкости 1 по высоте, площади основания нижней емкости 5, а также площади сечения трубки 4.

Конструкция устройства обеспечивает стабилизацию скорости наполнения травителем емкости с .образцами из-за постоянства столба жидкости h во время всего процесса травления, а равномерность подъема уровня травителя в емкости с образцами влечет за собой линейность поверхность шлифа.

С помощью устройства получены косые шлифы длиной 20 мм с отклонением от линейности поверхности не более 1Ъ (при высоте столба жидкости = 100мм)..

Формула изобретения

Устройство для изготовления образцов с косым шлифом, включающее верхнюю и нижнюю емкости, заполненные травителем, установленные на разных уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами, расположенными в нижней емкости, о т л.и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения качества шлифа путем стабилизации скорости подачи травителя, верхняя емкость снабжена крышкой и установ- ленной в ней трубкой, нижний конец которой погружен в травитель, а нижняя емкость снабжена перегородкой с каналом, при этом нижний конец трубки, соединяющей емкости, расположен над уровнем травителя в нижней емкости.

Источники информации, принятые во внимание при.экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 51862, кл. С 23 F 1/02, 1947.

2. Авторское свидетельство СССР

9 715962, кл. G Ol N 1/32, 1977 (прототип).

994959

Составитель A.Ëàïòåâà

Техред С.Мигунова Корректор М.Шароши

Редактор Н.Лаэаренко

Заказ

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

629/37 Тираж 871 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5