Способ измерения переходного сопротивления

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик, \ к ( б:-:

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено Ql . 11. 77 (21) 2540496/18-21 (51) М. КЛ.

G 01 R 27/08 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 2301.83. Бюллетень ¹ 3

Дата опубликования описания 230183

1эЗ) УДК 621 ..317 ° ° 331/333 (088.8) Х

Я.Д.Войцик, В.П.Паленскис и П.П.Садаус ка.„с (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СНОСОВ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕХОДНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

Изобретение относится к способам измерения параметров пленочных схем, а именно к измерению переходного со-. противления между двумя пленочными контактирующими слоями.

Известен способ измерения контактных сопротивлений с помощью трех зондов, два иэ которых установлены неподвижно и подсоединены к источнику тока, а третий передвигается между ними и служит для измерения распределения падения напряжения между неподвижными зондами, по которому графически определяют переходное сопротивление контакта (1).

Недостатками известного способа является сложность, так как требуется специальное устройство для перемещения зонда, и невысокая точность измерений переходного сопротивления, обусловленная тем, что измерения включают падение напряжения как на переходе, так и на участках проводника.

Наиболее близок по технической сущности и достигаемому результату способ измерения переходного congoтивления между двумя пленочными конгактирующими слоями, согласно которояу используют четыре зонда, два из которых — для подачи тока, а два других - для измерения напряжения (2) .

Недостатком этого способа являет ся невысокая, точность измерений, связанная с тем, что измеряется не только падение напряжения на переходном .слое между пленочными проводниками, но и падение напряжения на участках самих проводников между зондами. Кроме того, расчет переходного сопротив,ления по полученным результатам измерений трудоемок..Цель изобретения - повышение точности измерения переходного сопротив ления.

Поставленная цель достигается тем, что, согласно способу измерения пе20 реходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями,ос- нованному на измерении тока и напряжения с контактирующих слоев, выполняют проводящие дорожки из материала контактирующих слоев эа одно целое с ними и расположенные преимущественно под углом 90 или 180 друг к другу и с них производят измерение напряжения.

На чертеже показана схема для измерения переходного сопротивления,991330

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 124/62 Тираж 708 Подписное Филиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,4 между двумя пленочными контактирующими слоями.

На подложке 1 имеются пленочные проводники 2 и 3, имеющие между собой контактирующие слои, переходное сопротивление между которыми измеря-. 5 ют. От пленочных проводников 2 и 3 . выполняют проводящие дорожки 4 и 5 соответственно эа одно целое с про водниками 2 .и 3 и из того же материала. Дорожки 4 и 5 расположены друг fp по отношению к другу под углом 180 .

На проводники 2 и 3 устанавливают зонды б и 7, которые подключены к источнику 8 тока. Значение тока, протекающего по проводникам 2 и 3 и . переходу, измеряется амперметром 9.

На проводящие дорожки 4 и 5 установлены зонды 10 и 11 для измерения пагения напряжения в области контактирующих слоев пленочных проводников

2 и 3 с помощью высокоомного вольтметра 12.

Способ измерения переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями осуществляется следующим образом.

Через пленочные проводники 2 и 3 при помощи зондов 6 и 7 пропускают заданный ток, значение которого измеряют амперметром 9. Вольтметром 12 при помощи зондов 10 и 11 измеряют падение напряжения между двумя пленочными контактирующими слоями. Полученные результаты измерений йозволяют простым делением вычислить значение переходного сопротивления между дву" Ç5 мя пленочными контактирующими слоями.

Проводящие дорожки 4 и 5 могут быть выполнены друг по отношению к другу под углом, например, 90О в случае, если пленочные проводники 2 и 3 расположены друг по отношению к другу под углом, например, 90

ПолучЕнное предлагаемым способом значение переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями имеет более высокую точность, так как уменьшается погрешность измерений падений напряжения за счет исключения из результата падения напряжения на участках пленочных проводников вблизи контактирующих слоев.

Упрощается также обработка результатов измерений.

Способ измерения переходного сопротивления между двумя пленочными контактирующими слоями, основанный на измерении тока и напряжения с контактирующих слоев, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности измерения переходного сопротивления, выполняют проводящие дорожки из материала контактирующих слоев эа одно целое с ними и расположенные преимущественно под углом 90 или 180О друг к другу и с них производят измерение напряжения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Смирнов В,И. Теория конструкции контактов в электронной аппаратуре.

М., Советское радио, 1974, с.135138.

2. Galla R.Т;, Grecnhocese Н.М., Uergara W.Ñ. Microelectronics апд

Reliability, Uol. 7, 1968, 185-212 (прототип).