Установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскнк
Соцналнстнческнк
Республик ()987479 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено -30. 07. 80 (21) 2965382/25-28
Р1)М К з
G 01 N 19/04 с присоединением заявки М
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 070183. Бюллетень М 1
Дата опубликования описания 070133 (33) УДК 620 ° 179 ° 4 (088. 8) В.Н.Абраров, В.Е.Басин, Л.М.Корсунскнй, A.(.Сигов и М.В.Соболевский
1:и (72) Авторы изобретения
Московский институт радиотехники, электронжи Иавтоматики и Всесоюзный научно-исследовательский и пректно-трхноЖтгический институт электроизоляцнонных материалов и фольгированных диэлектриков (71) Заявители (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОЧНОСТИ СЦЕПЛЕНИЯ
ПОКРЫТИЯ С ПОДЛОЖКОЙ
Изобретение относится к испытательной технике, а именно к установкам для определения прочности сцепления покрытия с подложками методом отслаивания.
Известна установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой методом отслаивания, содержащая основание, механизм приложения 10 отслаивающей нагрузки и регистрирую" щее устройство (1) .
Недостатком этой установки является невозможность определения электроадгезионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подложками при создании сцепления за счет приложения к ним напряжения электрического поля.
Целью изобретения является обес" печение определрния электроадгезион-ной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подложками.
Для достижения этой цели установка снабжена установленным на основании электродом для размещения на нем подложки и источником напряжения, один выход которого соединен с электродом, а другой предназначен для взаимодействия с покрытием.
На чертеже изображена схема уста.новки.
Установка содержит основание 1, механизм приложения отслаивающей нагрузки с роликом 2, регистрирующее устройство 3, электрод 4, установлен; ный на основании 1, и источник 5 электрического напряжения, один вы" ход которого соединен с электродом 4 через коммутатор 6, а другой свобод" ным съемным электродом 7 соединен с покрытием.
Установка работает следующим образом.
На электроде 4 размещают полупроводниковую.подложку 8, на которой устанавливают испытуемое токопроводящее покрытие 9 таким образом, чтобы свободный конец покрытия 9 отгибал. ролик 2 и был закреплен в зажиме 10 регистрирующего устройства 3, а другой был соединен с источником 5 электрического напряжения через электрод 7.
К электроду 4 и токопроводящему покрытию 9 прикладывают напряжение от источника 5 включением коммутатора б.
При этом на границе раздела подложки 8 и покрытия 9 возникает электрическое поле и происходит накопление разноименных зарядов, взаимодействие
987479
Составитель В.Свиридов
Редактор В.Данко Техред О.Неце Корректор Г Огар
Заказ 10284/30 Тираж 871 Подписное
8HHHLIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
1)3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, r. Óæãoðîä, ул. ill>ос ктная, 4 кот орых и обуславливает закрепление и удержание покрытия 9 на подложке 8.
После закрепления испытуемого токопроводящего покрытия 9 на полупроводниковой подложке 8 перемещают ролик 2 и производят отслаивание покрытия 9 от подложки 8. Сигнал о сопротивлении перемещению ролика 2 через зажим 10 поступает на регистрирующее устройство 3, которое показывает электроадгезионную прочность токопроводящего покрытия 9 с полупроводниковой подложкой 8 в зависимости от величины приложенного напряжения.
Установка позволяет определить прочность сцепления. токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подлож" ками при создании между ними элект" рического поля за счет .изменения напряжения между электродом и токопроводящим покрытием.
Формула изобретения
Установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой ме" тодом отслаивания, содержащая основание, механизм приложения отслаивающей нагрузки и регистрирующее устройство, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения определения электроадгеэионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводйиковыми подложками, она снаб" жена установленным на основании электродом для размещения на нем подложки и источником напряжения, один выход которого соединен с электродом, а другой предназначен для взаимодействия с покрытием, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
9 634179, кл., G 01 N 19/04, 1977 (прототип) .
