Устройство для индивидуальной подгонки тонкопленочных резисторов

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнх

Социалистических

Ресвублик (u) 983766 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 25. 06. о0 (2!) 2989209/18-21 (И)М. Кл.

Н 01 С 17/00 с присоединением заявки Hо—

Государстееииый комитет

СССР по делам изо6ретеиий и открытий (23) Приоритет (ЩУД 621.316. .8(088.8) Опубликовано 23.12.82. Бюллетень М 47

Дата опубликования описания 23. 12. 82

Л. А. Стерхова, П. Б. Демин и В. A. верхов

1 (72) Авторы изобретения!

/ с:

Ижевский механический институт » (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ПОДГОНКИ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

15

25

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологическому оборудованию для подгонки в номинал сопротивления тонкопленочных резисторов.

Известно устройство для подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее генератор высокой частоты, рабочий электрод и блок контроля (1).

Недостатком этого устройства является то, что на нем возможно осуществить подгонку лишь в одну сторону (на увеличение), что ограничивает возможности его применения.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для подгонки резисторов, содержащее две иглы-электроды, подключенные к блоку. питания, например, электроискровому генератору, блок контроля и управления подгонкой, выходы которого через блок питания соединен с иглами-электродами, магазин эталонных сопротивлений, соединенный выходами с блоком контроля и управления подгонкой(2).

Однако s этом устройстве подгонка также осуществляется лишь в сторону увеличения сопротивления.

Цель изобретения — снижение трудоемкости подгонки и расширение функциональных возможностей путем использования одного и того же оборудования без перестановки подгоняемого резистора.

Указанная цель достигается тем, что в устройство для индивидуальной подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее координатный столик с контактными зондами, иглы-электроды, блок питания игл-электродов, блок контроля и управления подгонкой, выходы которого через блок питания соединены с иглами-электродами, магазин эталонных сопротивлений, соединенный выходами -с блоком контроля и управления подгонкой, введены блок сравнения и выбора -направления ведения подгонки и блок автоматического вертикального перемещения игл-элект-, родов, причем первые входы блока сравнения и выбора направления веде ния подгонки соединены с магазином эталонных сопротивлений, вторые входы — с контактными зондами, а выход— с первым входом блока автоматического вертикального перемещения иглэлектродов, вторые входы которого соединены через блок питания игл983766

Формула изобретения устройство для индивидуальной подгонки тонкопленочных резисторов, содержащее координатный столик с контактными зондами, иглы-электроды, блок питания игл-электродов, блок контроля и. управления подгонкой, выходы которого через блок питания r.iэлектродов с выходами блока контроля и управления подгонкой.

На чертеже изображена блок-схема устройства.

Устройство содержит блок 1 питания игл-электродов 2 и 3, установленных в блоке 4 автоматического вертикального перемещения игл-электродов, микрометрический столик 5, контактные элементы 6, блок 7 контроля и управления подгонкой, соеди- 10 ненный с магазином 8 эталонйых сопротивлений и блоком 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки, электроискровая цепь снабжена тумблером 10, для визуального контроля рас- 5 положения игл-электродов применен микроскоп 11.

Устройство работает следующим образом.

Микросхему 12 с подгоняемым резистором 13 устанавливают на микрометрическом столике 5, имеющем продольно-поперечное перемещение, и над ней располагают две иглы-электроды 2 н 3 под некоторым углом друг к другу, включенные в цепь блока 1 питания. Подключают блок 7 контроля и управления подгонкой к контактным площадкам 14 подгоняемого резистора

13 посредством контактных элементов 6.30

На магазине 8 эталонных сопротивлений устанавливают требуемую величину сопротивления эталонного резистора. Затем на блок 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки 35 подают два сигнала — один с магазина 8 эталонных сопротивлений, другой с блока 7 контроля и управления подгонкой. На основании сравнения этих двух сигналов блок 9 сравнения 40 и выбора направления ведения подгонки вырабатывает один из двух сигналов рассогласования, первый из которых соответствует тому, что подгоняемый резистОР 13 меньше эталОннОГО 4> второй тому, что подгоняемый резистор 13 больше эталонного. В случае, если с блока 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки на блок 4 автоматического вертикального перемещения игл-электродов поступает сигнал первого типа, блок 4 вертикального перемещения опустит электроды до соприкосновения одного из них с поверхностью подгоняемого резистора

13, и, при замыкании тумблера 10,между рабочим электродом и поверхностьж подгоняемого резистора 13 произойдет электроискоровый разряд,при котором удаляется часть реэисторной пленки и тем самым сопротивление подгоня-,60 емого резистора 13 повышается, Одновременно с процессом подгонки ведется непрерывный контроль сопротивления подгоняемого резистора 13 блоком 7 контроля и управления процес- 65 . сом подгонки и по достижению равенства сопротивления с эталонным этот блок срабатывает и разрывает цепь электроискрового разряда, прекращая процесс подгонки. На выходе блока 7 контроля и управления процессом подгонки включено исполнительное реле (не показано), разрывающее цепь пита- ния электродов. Если же с блока 9 сравнения и выбора направления веде.ния подгонки на блок 4 вертикального перемещения игл-электродов поступит сигнал второго типа, блок 4 вертикального перемещения поднимет иглыэлектроды вертикально вверх и установит их над подгоняемым резистором

13 на расстоянии действия факела распыляемого электрода. При включении тумблера 10 между электродами произойдет электроискровой разряд с сопутствующим ему факелом распыляемого материала электрода и, при перемещении микросхемы 12 относительно иглэлектродов 2 и 3 в горизонтальной плоскости, на поверхности резистивной пленки образуется электропроводящий слой, шунтирующий отдельные участки поверхности реэистивной пленки и тем самым уменьшающий номинал резистора. Аналогично предыдущему, в процессе подгонки блоком 7 контроля и управления процессом подгонки ведется контроль подгоняемого резистора 13 и по достижении равенства сопротивления подгоняемого резистора с эталонным блок 7 контроля и управления процессом подгонки срабатывает и разрывает цепь электроискрового разряда, прекращая процесс подгонки данного резистора, затем контактные элементы 6 устанавливают на контактные площадки 14 следующего резистора микросхемы 12, и блок 9 сравнения и выбора направления ведения подгонки на основании сравнения сопротйвлений эталонного и подгоняемого резисторов вновь вырабатывает либо сигнал на опускание игл-электродов, либо на их подъем.

Таким образом, при разовой установке подгоняемого резистора, на одном и том же Оборудовании можно подгонять тонкопленочный резистор как в сторону увеличения, так и уменьшения. Это обеспечивает экономическую эффективность предлагаемого устройства.

983766

Составитель Ю. Волков

Редактор Н. Лазаренко Техред 3.Палий Корректор Л. Бокшан

Заказ 9934/61 Тираж 761 Подписное

ВНННпН Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, X-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная; 4 единены с иглами-электродами, магазин эталонных сопротивлений, соединенный выходами с блоком контроля и управления подгонкой, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью снижения трудоемкости подгонки и расширения функциональных воэможностей, в него введены блок сравнения и выбора направления ведения подгонки и блок автоматического вертикального перемещения игл-электродов, причем первые входы блока сравнения и выбора на правления ведения подгонки соединены с магазином эталонных сопротивлений, вторые входы — с контактными зонда= ми, а выход — с первым входом блока автоматического вертикального перемещения игл-электродов, вторые входы которого соединены через блок питания игл-электродов с выходами блока контроля и управления подгонкой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 338923, кл. Н 01 С 17/24, 10.04.70.

2. Авторское свидетельство СССР

М 326645, кл. Н 01 С 17/24,03 ° 01.69 (прототип).