Электроразрядный манометр

lii) 964509

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик ф, г

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-еу (22) Заявлено 230680 (21) 2943605/18-10 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет

Опубликовано 071082: Бюллетень ¹ 37

Дата опубликования описания 071082 1)М К з

01 L 23/08

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531. 787 (088. 3) (72) Авторы изобретения

H. И. Магда и Г. В. Скачек (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к приборостроению и может быть. использовано для измерения быстроменяющегося давления газа.

Известно устройство для измерения давления газа по амплитуде пробивного напряхсения (1 1.

Однако оно обладает низким быстродействием, так как время нарастания импульса высокого напряжения должно существенно превышать время развития пробоя.

Наиболее близким к изобретению является устройство для измерения давления газа, содержащее генератор высоковольтных импульсов, электрический разрядник и измеритель амплитудно-временной характеристики (2 1.

Однако известное устройство имеет ограниченное быстродействие.

Цель, изобретения — повышение быстродействия.

Эта цель достигается тем, что устройство снабжено передающей линией и согласованной нагрузкой, а в генераторе высоковольтных импульсов коммутатор выполнен в виде управляемого разрядника-обострителя, причем генератор высоковольтных импульсов, разрядник-обостритель, передающая линия, электрический разрядник и согласован ная нагрузка включены последовательно, а вход измерителя амплитудно-вре5 менной характеристики подключен между передающей линией и электрическим разрядником. .Кроме того, электрический разрядник выполнен микрозаэорным.

При этом для увеличения срока службы электрического разрядника и повышения стабильности его характеристик, в генератор высоковольтных импульсов введена наносекундная формирующая линия, включенная перед разрядникомобострителем.

На фиг. 1 представлена функциональная схема предлагаемого электроразрядного манометра; на фиг. 2 — типич-. ная осциллограмма импульса напряжения на электродах электрического разрядника; на фиг. 3 — одна из калибровочных кривых зависимости давления газа . от времени задержки разряда; на фиг.4одно из измеренных временных распределений давления газа.

Электроразрядный манометр содержит генератор 1 высоковольтных импульсов, передающую линию 2, электрический разрядник 3, согласованную нагрузку 4 н измеритель 5 амплитудно-временной

964509 характеристики разряда. Генератор 1 высоковольтных импульсов состоит иэ источника б постоянного высокого нап". ряжения, формирующей 7 наносекундной линии и управляемого разрядника-обострителя 8. 5

Манометр работает следующим образом.

В исходном состоянии формирующая линия 7 заряжается от источника 6 до рабочего напряжения Оо . Затем, пос- 10 ле срабатывания управляемого разряд.ника-обострителя 8, сформированный наносекундный прямоугольный импульс высокого напряжения с длительнос,тью 7 и амплитудой Upi2,через пере- 15 дающую линию 2 подается на электроды электрического разрядника 3. В течение времени ьЗ до момента про-! боя разрядного промежутка, Импульс отражается в передающую линию 2 с 2О амплитудой Uo.В момент пробоя разрядного промежутка электрического разрядника 3 напряжение на его электродах резко падает и остается равным 00/2 до окончания разряда через согласованную нагрузку 4 в течение оставшегося времени импульса.

Форма импульса напряжения на электродах электрического разрядника 3 регистрируется измерителем 5 амплитудно-временной характеристики разряда (фиг. 2) .

На фиг. 3 приведена калибровочная кривая для электроразрядного манометРа, в котором амплитуда высоковольтных импульсов равна 10 кВ, а зазор у электрического разрядника 3 равен 80 мкм. Электроразрядный манометр с такими параметрами позволяет измерять давление газа как стационарного, так и быстроменяющегося 4О в области давлений 5 10 — 100 торр, эа время до 15 нс.

На фиг. 4 приведено одно из измеренных временных распределений давления газа предлагаемым электро- 45 разрядным манометром. Электрический разрядник манометра расположен на расстоянии б см от места импульсного напуска газа электродинамическим клапаном в камеру дрейфа, предвари- 5Q тельно откаченную до давления 7 х х 10 торр.

Технико-экономическая эффективность предлагаемого электроразрядного манометра состоит в повышении быстродействия, что расширяет область применения электроразрядных манометров и позволяет измерять пространственно-временное распределение быстро меняющегося давления газа. Предлагаемый электроразрядный манометр обладает высокой помехоустойчивостью и широким диапазоном измеряемых давлений.

Формула изобретения

1. Электроразрядный манометр, содержащий генератор высоковольтных импульсов, электрический Разрядник и измеритель амплитудно-временной характеристики, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения быстродействия, он снабжен передающей линией и согласованной нагрузкой, а в генераторе высоковольтных импульсов коммутатор выполнен в виде управляемого разрядника-обострителя, причем генератор высоковольтных импульсов, разрядник-обостритель, передающая линия, электрический разрядник и согласованная нагрузка включены последовательно, а вход измерителя амплитудно-временной характеристики подключен между передающей линией и электрическим.разрядником.

2. Манометр по п.1, о т л и ч а ю щ и. и с я тем, что электрический разрядник выполнен микрозазорным.

3. Манометр по пп. 1 и 2, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения срока службы электрического разрядника и повышения стабильности его характеристики, в генератор высоковольтных импульсов введена наносекундная формирующая линия, включенная перед разрядникам-обостри,телем.

Источники информации, принятые .во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 286301, кл. G 01 L 11/00,12.05.69.

2. Заявка Японии 9 50-9440, кл. G 01 L 21/34 (прототип).

964509

Z Р фогж1,ба/

М4

Составитель И.Сумцов

Редактор Г.Безвершенко Техред M.Êîøòóðà Корректор М.Демчик

Заказ 9618/23 Тираж 887 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4