Способ градуировки вакуумметров

О П И С А Н И Е < 957024

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.09.79 (21) 2661208/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М.К .

G01 L27/00

Гоеударственнык комитет (53) УДК 531.787 (088.8) Опубликовано 07.09.82. Бюллетень №33

Дата опубликования описания 07.09.82 по делам нзобретеннй н открытий (71) Заявитель (54) СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ ВАКУУММЕТРОВ

Изобретение относится к приборостроению, в частности к устройствам для градуировки вакуумметров.

Известны способы градуировки вакуумметров путем повышения давления в первой камере с градуируемым вакуумметром, происходящего при непрерывной подаче известного потока газа в эту камеру из второй камеры с образцовым манометром и определения давлений, соответствующих зафиксированным в некоторые моменты времени показаниям градуируемого вакуумметра (1) .

Данные способы не обеспечивают градуировки вакуумметров в широком диапазоне давлений.

Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности и достигаемому эффекту является способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям (2) .

Известный способ также не обеспечивает градуировку вакуумметров в широком диапазоне изменений давления.

Цель изобретения — расширение диапазона градуировки.

Поставленная цель достигается тем, что при градуировке вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем судят по идентичности показаний манометра сравнения.

На чертеже показана вакуумная система, реализующая предлагаемый способ градуировки вакуумметров.

Система содержит градуируемый вакуумметр 1, присоединенный к градуировочной камере 2. Камера откачивается через диафрагму 3 известной проводимости U высоковакуумным насосом 4. Через входной элемент 5 (натекатель, диафрагму, трубку

957024 и т. п.) в градуировочную камеру подают измеряемый лоток (,) градуировочного газа.

Клапан 6 служит для перекрытия входного элемента 5. Через регулируемый натекатель 7 в камеру подают дополнительный поток газа. К камере 2 присоединен также манометр сравнения 8.

Предлагаемый способ градуировки вакуумметров состоит из следующей последовательности операции.

После предварительной откачки камеры 2 в нее подают через входной элемент 5 измеряемый поток (,) газа (например, наибольший лоток, при котором еще соблюдается молекулярный режим течения), при этом кл а па н 6 открыт.

Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставляют с ним соответствующее значение давления Р в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле (1). Одновременно фиксируют показание манометра сравнения 11.

Закрыв клапан 6, подают извне в камеру 2 дополнительный поток, равный измеренному потоку О .

Открыв клапан 6, удваивают поток газа в камеру, т. е. Qz — — 2@1.

Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставляют с ним соответствующее значение, давления Р2 в градуировочной камере, рассчитанное по формуле (2) Одновременно фиксируют показание манометра сравнения Iz.

Прекратив подачу дополнительного потока, регулируют поток газа через входной элемент 5 так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно Iz.

Циклически удваивая поток газа, повторяют операции 2 и 6.

Предлагается также при выполнении операции 3 регулировать дополнительный поток так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно I . Это свидетельствует о том, что дополнительный поток равен измеренному потоку Q>.

Предлагается также подавать в камеру 2 дополнительный поток через регулируемый натекатель 7.

Тогда операции 3 и 6 выполняют посредством открытия и закрытия натекателя 7.

Таким образом, в камере 2. воспроизводится последовательный ряд давлений и

Р2 =2Р

P — — 2 = 4Р

Р1 =2Рз =8P

P; — — 2 P

Р =2л!Р

Наиболее важно чт

Формула изобретения

Способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям, отличающийся тем, что, с целью рас4р ширения диапазона градуировки, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем судят по идентичности показаний манометра сравнения.

Источники информации, 45 принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 767592, кл. G 01 L 27/00, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР № 408183, кл. G 01 I. 27/00, 1971 (прототип). о расчет давлений Р; совершенно не обусловлен режимом течения во входном элементе системы, последний может и не быть молекулярным. Тогда верхний предел давлений зависит лишь от возможностей высокопроизводительной откачки камеры 2 насосом 4.

Таким образом, измерив однократно в начале градуировки сравнительно малый поток Я,, можно при определенном числе

h описанных циклов регулирования потока воспроизвести и рассчитать достаточно большие потоки (,); = 2 (,) и соответственно сравнительно высокие давления Р; = 2 P, при которых не соблюдается молекулярный

20 режим течения газа в системе. Ядро методики градуировки составляет циклическое регулирование потоков газа через входной элемент и натекатель и регистрация показаний градуируемого вакуумметра 1 и манометра сравнения 8. Устранение ограничений, накладываемых на режим течения, обеспечивает возможность заметного расширения диапазона градуировки в сторону высоких давлений.

957024

Составитель О. Сафонов

Редактор Г. Ус Техред А. Бойкас Корректор Н. Король

Заказ 6583/28 Ткраж 887 Подписное

ВНИИПИ Государственного комктета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4