Способ изготовления фольговых тензорезисторов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Р1 М Кп з
G 01 В 7/20 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 30.07.82. Бюллетень ¹ 28
Дата опубликования описания 30.07.82
Государственный комитет
СССР по делам изобретений и открытий (33) УДК 531 ° 781 ° 2:
:539 ° 3 (088. 8) Ю.М. Базжин, Ф. A. Гордеева и С.A. Николае а
П „",.„;„)3 (72) Авторы изобретения
НВЛИЭ1МИ, Научно-исследовательский и конструкторский инстит т (71) Заявитель испытательных машин, приборов и средств измерения масс (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ
Изобретение относится к измери тельной технике, в частности к технике тенэометрических измерений.
Известен способ изготовления тензореэисторов, заключающийся в формировании подложки из клея в жидкой фазе непосредственно на фольге путем нанесения его с помощью фильеры, валика или кистью с последующей сушкой на воздухе и термообработкой в термостате, затем покрывают другую сторону фольги фотореэистом, производят фотолитографию и травление (1).
Однако этому способу присущие скручивание пакета иэ-за.большой разницы в коэффициентах линейного расширения фольги и клея, поэтому заготовки фольги необходимо закреплять на специальных сетках, на которых.они проходят термообработку и последующие операции, что снижает производительность труда.
Наиболее близким к изобретения по технической сущности является способ изготовления фольговых тензорезисторов заключающийся в том, что последовательно производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой подсушенного клея присоединяют подложку, термообрабатывают и травят (2).
Недостатком этого способа является малая производительность труда из-за длительности процесса сушки и термообработки, требующего длительной выдержки пакета заготовок тензорезисторов под прижимом.
10 Цель изобретения — повышение производительности и улучшение метрологических характеристик.
Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления фольговых тенэорезисторов, заключающемся в том, что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, присоединение подложки к фольге и травление производят при жидкой фазе клея, а затем термообрабатывают.
Способ осуществляется следующим образом.
Фольгу для очистки пропускают через ряд ванн, сматывая с рулона.
Затем в процессе перемотки наносят на поверхность фольги фотореэист, например, вытягивая из раствора, осуществляют копирование дискретным методом, сохраняя целостность фольги, 947635
Формула и ..обретения
Составитель В. Савичев
Редактор С. Тараненко Техред Л . Пекарь Корректор Г. Решетник
Тираж 6 14 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 5613/61
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 проводят в непрерывном режиме проявление и дубление. Далее, также в непрерывном режиме, производят прикатку фольги к жидкому клею, нанесенному на подложку, и травят. После травления, когда значительная часть фоль- 5 ги удалена и открыт доступ к выходу растворителя, осуществляют термообработку.
Присоединение подложки к фольге в ходе выполнения операции травления, осуществляемое эа счет снл сцепления жидкого клея, приводит к качественно новому эффекту — возможности осуществления непрерывного технологического процесса,в котором вспомогательное время практически отсутствует. Это позволяет в несколько раэ повысить производительность и сократить количество специального оборудования и одновременно улучшить метрологические характеристики типоразмеров.
Способ изготовления фольговых тензорезисторов, заключающийся в том, что производят фотолитографию на одной стороне фольги, к другой стороне фольги через слой клея присоединяют подложку, травят и термообрабатывают, отличающийся тем, что, с целью повыаения производительности и улучшения метрологических характеристик, присоединение подложки к фольге и травление производят при жидкой фазе клея, а затем термообрабатывают.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Технологический процесс изготовления фэльговых тензореэисторов
НИКИМП. 1967, c. .33-48.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 316922, кл. G 01 В 7/18, 1971 (прототип) .
