Устройство для двусторонней очистки плоских деталей

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

If АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнх

Соцналнстнческнх

Рес убл

< 937058 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 070679 (23 j 2776765/22-12

«51«М. Кл.з

В 08 В 1/04 с присоединением заявки Hо ««

Государственный комитет

СССР по дедам нзобретеннй н открытий (23) ПриоритетОпубликовано 23,0<82. Бюллетень М 23

«ЩУДК 621.7. .024(088.8) Дата опубликования описания 230682

Н.И. Никулин, В.Н. Комаров и Б.И.Хмыроы, b (72) Авторы изобретения (73 } Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ОЧИСТКИ ПЛОСКИХ

ДЕТАЛЕИ

Изобретение относится к технологическому оборудованию полупроводникового производства, а именно к устройствам для двусторонней очистки плоских деталей.

Известно устройство двусторонней очистки плоских деталей, включающее установленный между моющими щетками приводной сепаратор с отверстиями для обрабатываемой детали (1) .

Однако известное устройство не исключает вторичное загрязнение очищаемой поверхности вследствие загрязнения самих щеток.

Целью изобретения является повышение качества очистки за счет исключения вторичного загрязнения очищаемого изделия

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для двусторонней очистки плоских деталей, включающем установленный между моющими щетками приводной сепаратор.с .отверстиями для обрабатываемой детали, сепаратор имеет размещенные по нериметру со стороны отверстия выступы для снятия загрязнений с ворса щетки.

-На фиг.1 изображено предлагаемое устройство, общий выду íà фиг.2сечение выступа, выполненного по периметру отверстия сепаратора °

Устройство содержит ванну 1 со слнвным штуцером 2, моющие щетки 3 и 4, приводной сепаратор 5 с отверстием 6 для обрабатываемой детапи 7 и привод 8 сепаратора. По периметру отверстия 6 сепаратора 5 выполнены

10 выступы 9 и 10, сечение которых имеет форму прямоугольного треугольника, обращенного вершиной в сторону отверстия.

Иовщие щетки 3 и 4 закреплены на полых корпусах 11 и 12 со штуцерами13 и 14 для подвода мошек и жидкости, В корпусах 11 и 12 имеются отверстия

15, через которые моющая жидкость подается в зону очнсткн.

Устройство работает следууощим образом. .Перед началом цнкла очыстки корпус 12 с закрепленной на нем щеткой

4 поднимают вверх. В отверстые 6 сепаратора 5 укладывают деталь 7, 25 .например фотошаблон, посла чего корпус 12 опускают вниз. Затем включают привод 8 и подают моющую жид- кость, которая через штуцеры 13 и

14 и отверстия 15 поступает в эоиу обработки.

937058

Формула изобретения

Фиа1

Фиа2, Под действием привода 8 сепаратор

5 с деталью 7 совершает сложное движение в горизонтальной плоскости, между щетками 3 и 4. Под действием щеток 3 и 4 и моющей жидкости происходит интенсивное удаление продуктов загрязнения с обеих сторон очищаемой детали 7. При этом движении сепаратора 5 продукты загрязнений отводятся выступами 9 и 10 на периферию щеток. 10

Затем привод 8 и подачу моющей жидкости отключают, корпус 12 поднимают вверх и очищенную деталь 7 извлекают из отверстия б сепаратора 5.

Цикл повторяется. 15

Наличие на сепараторе выступов, посредством которых продукты загрязнения отводятся из эоны очистки на периферию, позволяет исключить вторичное загрязнение очищаемой поверх- 20

1 ности вследствие загрязнения самих щеток.

Устройство для двусторонней очистки плоских деталей, включающее установленный между моющими щетками при- . водной сепаратор с отверстиями для обрабатываемой детали, о т л и ч а юч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества очистки за счет исключения вторичного загрязнения очищаемого изделия, сепаратор имеет размещенные по периметру со стороны отверстия выступы для снятия загрязнений с ворса щетки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Механизм отмывки. Чертеж.

ЩЦМ 2240249СБ, 1979, ВНИИПИ Заказ 4313/12

Тираж 625 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектов», 4