Устройство для получения поликристаллического кремния

Авторы патента:

Волков И.Г.

Кравцов А.М.

Котин Н.Н.

Поселянин И.В.

Семенов А.И.

Сивец Т.Г.

Трусов А.А.

Фролова В.Д.

C01B33/02 - кремний (образование монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала определенной структуры C30B)

1. Устройство для получения поликристаллического кремния осаждением его из газовой фазы на нагретые электрическим током П-образные кремниевые стержни, включающее охлаждаемый металлический кожух с электроизолятором внутри него, установленный на опорной плите, снабженной штуцерами для подачи и отвода реакционного газа и имеющей отверстия, в которых установлены электроизолированные токоподводы для крепления концов кремниевых стержней, отличающееся тем, что, с целью сокращения подготовительно-заключительных операций, электроизолятор выполнен в форме защитного пояса, закрепленного на внутренней стенке в верхней части кожуха.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электроизолятор выполнен секционным и закреплен на кронштейнах.

Восстановитель для выплавки кремния // 763263

Устройство для непрерывного получения кремния // 745069

Шихта для плавки кристаллического кремния // 582200

Способ подогрева кремниевых стержней // 503463

Способ автоматического управления процессом получения чистых материалов // 334997

Способ получения кремния технической чистоты // 190356

Способ получения кристаллического кремния // 119176

Способ получения окускованной шихты // 2103386

Способ получения кремния // 2116963

Изобретение относится к технологии кремния и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния

Способ плавки кристаллического кремния // 2121967

Изобретение относится к электротермическому получению кремния в рудно-термических печах

Способ производства кремния в трехфазной рудовосстановительной электропечи // 2122970

Изобретение относится к электротермическому производству технического кремния

Способ получения кремния высокой чистоты // 2131843

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к производству высокочистого кремния, который может быть использован при изготовлении солнечных элементов

Способ получения моноизотопного кремния // 2137710

Изобретение относится к области металлургии

Шихта для производства кремния и способ приготовления формованного материала для производства кремния // 2151738

Изобретение относится к подготовке шихтовых материалов и производству кремния в электротермических печах, который может быть использован в полупроводниковой технике

Способ производства кремния для использования в солнечных элементах // 2154606

Способ получения моноизотопного кремния si28 // 2155158

Изобретение относится к области получения высокочистых веществ и касается разработки способа получения высокочистого моноизотопного кремния Si28, который может быть использован в микроэлектронике

Способ получения металлического кремния // 2160705

Изобретение относится к цветной металлургии, в частности, к карботермическому методу получения кремния для фотоэлектронной промышленности, в том числе для изготовления солнечных батарей