Холодильная камера

ОП ИСАНИЕ 91692О

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистические

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к ввт. свнд-ву (22) ЗаЯвлено 05.08;80 (23) 2989713/28-13 (51) Nl. Кл.

F 250 3/10 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Ввуйврстиеныб квимтет

СССР во делеи изебретенвв м еткраеюй (53) УДК 621. Sea.4 (088.8) Опубликовано. 30.03.82. Бюллетень ЭВ 12

Дата опубликования описания 30.03.82 (72) Авторы изобретения

П.А. Саар, А. П. Тревтун, Ю. H. Завгородний н А.М. Островский (71} Заявитель (54) ХОЛОДИЛЬНАЯ КАЯЕРА

Изобретение относится к технике инэум ких температур, а именйо к холодильным, камерам, преи ущест нно для исштаний полупроводниковых приборов.

Известна холодильная камера для а » лаждения полупроводниковых транзиста

- 5 ров, включающая испаритель, частично заполненный испаряющейся жидкостью, и радиатор-конденсатор, размещенный в верхней. части камеры 13. ю

Однако данная камера не обеспечивает необходимую равномерность температур ного поля в охлажааемом объеме, что объясняется наличием открытого испаритв» ля.

Наиболее близкой к предлагаемой ив ляется холодильная камера, содержащая теппоизолированный корпус и систему охлаждения, включающую трубку для подвода криогенной жидкости в камеру вентилятора. Камера имеет обводной канал, спрямляющую и шевронную решетку)2).

Недостаток этой камеры заключается в неравномерности температуры по все-, 2 му объему, обусловленной впрыскиванием криогенной жидкости, направляемой воздушным потоком вентилятора на переохлажденные решетки, на которых хладагент не успевает полностью испариться, создавая переохлажденные участки в рабочей полости камеры.

Бель изобретения - обеспечение равномерности распределения температуры по всему ебьему камеры.

Указанная пель достигается тем, что холодильная камера, содержащая теплоизолированный корпус и систему охлаждения, включающую трубку для подвода криогенной жидкости в камеру н вентилятор, снабжена дополнительной системой охлаждения, состоящей нз теплообменных труб, подведенных к верхнему н нижнему коллекторам, расположенных вдоль ограждающих конструкдий камеры и заполненных хладоном-22, при этом начальный участок трубки для подвода криогенной жидкости установлен наклонно в верхнем

916920

3 коллекторе с поцъемом в направлении подачи криогенной жидкости.

На чертеже схематически изображена предлагаемая холодильная камера, общий вид. 5

Холодильная камера состоит из теплоизолированного корпуса 1, основной сио темы охлаждения, включающей трубку 2 для подвода криогенной жидкости, например жидкого азота, вентилятора 3 и цо»- 10 цолнительной системы охлаждения, состоящей иэ теплообменных труб 4, изогнутых по форме внутренней полости камеры, соединенных верхним 5 и нижним 6 коллекторами, и частично заполненных хлада- 5 гентом, температура кипения которого выше температуры кипения криогенной жидкости, например, хладоном-22.

Трубка 2 подключена к питателю 7, при этом начальный ее участок размещен щ наклонно в верхнем-коллекторе 5 с подъемом в направлении поцачи криогенной жидкости.

Предлагаемая холодильная камера работает следующим образом. 25

В исходном состоянии теплообменные трубы 4 в верхней своей части и коллектор 5 заполнены парами хлацоца-22. При поступлении криогенной жидкости из питателя 7 в трубку 2, наклонное расположе- щ ние начального участка, которой обеспечивает частичное заполнение его жидким хлацагентом, на внешней поверхности этого участка происходит интенсивная кон» ценсация паров хладона-22. Процесс кое- з5 денсации сопровождается понижением дав» ления в верхнем коллекторе 5 и теплообменных трубах 4, что ускоряет испарение жидкой фракции хладона-22, находящейся в нижней части дополнительной сио,ц> темы охлаждения. Из коллектора 5 конденсированный и охлажденный хлацон-22 стекает по стенкам теплообмениых труб

4, отдавая холод в рабочий обьем камеры °

Таким образом, наклонное раэмещечие подводящей трубки 2 в верхнем кол-. лекторе 5 позволяет частично заполнить ее начальный участок криогенной жидкостью, испаряющуюся через открытый конец трубки 2, что прецотвращает попадание брызг жидкой фракции хладагента в . рабочую полость камеры. При этом интенсивное поглощение тепла испаряющимся хладоном-22 в нижней части дополнительной системы охлаждения и выделение холода конденсированным: хладоном-22 в верхней ее части совместно с перемешнванием газовой смеси вентилятором 3 обеспечивают равномерность температуры по всему объему прецлагаемой камеры, Формула изобретения

Холодильная камера, содержащая теплоизолированный корпус и систему охлаждения, включающую трубку цля поцвоца криогенной жидкости в камеру и вентилятор, отличающая сятем,что, с целью обеспечения равномерности раопрецеления температуры цо объему камеры, она снабжена цополнительной сиотемой охлаждения, состоящей из теплообменных труб, поцвеценных к верхнему и нижнему коллекторам, .расположенных вцоль ограждающих конструкций камеры и заполненных хладоном-22, при этом начальный участок трубки для поцвоца криогечной жидкости установлен наклонно в верхнем коллекторе с поцъемом в направлении подачи криогенной жидкости.

ИстОчники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции % 1211976, кл. Н 01 L, опублик. 1972.

2, Авторское свидетельство СССР

Ж 525844, кл. C 250 3/10, 1970 (прототип) .

916920

Составитель В. Чантурия

Техред Л.Пекарь Ко ректор

1.. Огар

Редактор Ю. Середа

Филиал. ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 1851/55 Тираж 542 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5