Устройство для интерферометрического измерения высоких скоростей смещения поверхности

Сою» Советск ин

Социалистических

Республик

ОЛ ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()909637 (6l ) Дополнительное к ввт. саид-ву (22) Заявлено 17.06.80 (2! ) 2943970/18-10 (53 ) М. Кл.

G01 P 3/36 с присоединением заявки М

Государственный «еинтет

СССР но делам нзобретеннй н вткрытнй (23}(!риоритет

Опубликовано 28.02.82, Бюллетень М 8

Дата опубликования описания 01.03.82 (53) УЙК 531,,76 7(088.8) (72) Авторы изобретения

В. P. Белевитнев, Ю. Ф. Застрогин и М. И. Пе

Рижский орцена Трудового Красного Знамени пол инсхихух и Всесоюзный заочный машиностроитель (7!) Заявитель (54} УСТРОЙ}СТВО ДЛЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ

ВЫСОК!!Х СКОРОСТЕЙ СМЕЩЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ

Устройство относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано цля бесконтактного измерения высоких скоростей смешения поверхности.

Известны устройства цля интерферометрического измерения скоростей смешения поверхностей, использующие оанолучевые, авухлучевые или многолучевые интерферометры (1) .

Нецостатком известных устройств яв30 ляется ограниченность их применения случаями сравнительно невысоких скоростей смешения, при которых получаемые цопплеровские смешения частоты меньше частотного разрешения применяемых в них фотоэлектрических приемников.

Наиболее близким к прецлагаемому является устройство цля интерферометрического измерения высоких скоростей смешения поверхностей, основанное на использовании интерференции когерентных лучей, направляемых на исслеауемую поверхность поц разными углами. Устройство i.îöåðæèò лазер и оптически связанные с ннм через светоцелитель и исслецуемую поверхность первое и второе непоцвижные зеркала и фотоприемник.

Кроме этого, в данном устройстве содержится второй светоаелитель. При этом когерентное излучение источника целится первой светоцелительной пластиной на ава луча и направляется на исследуемую поверхность поц разными углами. Отраженные от исслецуемой поверхности лучи совмещаются в пространстве при помощи второй светоцелительной пластины цля создания интерференционной картины as поверхности фотоприемника. Выбор углов падения опрецеляет частоту сигнала на выхоае фотоаетектора при максимальной скорости смеше» ния (2 j °

Нецостатком известного устройства является то, что при движении исследуемой поверхности отраженные лучи тоже смещаются один относительно цругого, что снижает точность н уменьшает прецелы измерения.

3 909637 4 мешении исследуемой поверхности параг 1тель изобретения - увеличение точлельно первоначальному. Кроме того, изности р р пр асши ения прецелов измерени . ме ение можно производить при меньших

Пос та в лени а я ц ель цо сти гве тс я тем, мерение мож углах падения лучей. стройство может применяться цля оптически связанные с ним через свето- 5 р пр е измерения скорости пове х целитель и исследуемую поверхность перб и удара. слеаоввнии параметров ви рат.ии и уца вое и второе неподвижные зеркала и

Применение устро ства фотоприемник, ввецено третье непоавижровоаить в ыси ть то чнос ть и зм ер ения, пр ово аит ное зеркало, при этом второе и третье р б оких пределах пе16 измерения в оолее широких п непоавижные зеркала установлены орторемешения noBepxHocти . гонально отраженным от поверхности лазерным лучем.

На чертеже показана блок-схема устбре тения формула иэо рете ройства цля измерения высоких скоростей смещения поверхности. 15 к 1 коге- Устройство аля ин к коге- У и л интерферометрическоУстройство содержит источник когего измерения высоких скорос к остей смешерентного излучения, светоцелительное

-5 и ния поверхности, содержащее лазер и опзеркало 2, непоцвижные зеркала 3- и тически связанные с ним ч ерез csегоaeфотоприемник 6. Устройство позволяет ность перлитель и исслецуемую поверхност п измерить скорость поверхности 7. 20 вое и второе неподвижные эер ал

Устройство работает слецуюшим обратоприемник, о т л. и ч а ю ш е е с я зом. еее тем, что, с ц с целью повышения точности и

Луч света источника 1 излучения ц расширения пределов изме и, ерений в него лится светоцелительным зеркалом на зеркало, при на авляется 25 введено третье неподвижное цва Луча, один из которых направляется 5 т етье неподвижные зер-поц углом S, к исследуемой и р ове хиос- этом второе и третье не кала установлены ортогон нально отраженти 7, а второй при помощи неподвижного ным от поверхности лазерным лучом. зеркала 3 направляется поц углом ф, в ту же точку поверхности. Отраженные

Источники информации от поверхности лучи попадают на плоские 5п и экспертизе и инятые во внимание при экс зеркала 4 и 5 отражаются от них, от пр исследуемой поверхности 7 и совмешвютЛ 1976 с 277

Машиностроение

3 и 2. Картина интерференции регистрируется фотоприемнико м 6

2. Марон. Метоцы измерения очень

28 4.

На чертеже пунктиром показан хоц 2, Марон. етоцы поверхносве хности. П и ра- высоких скоростей смешения лучей при смещении поверхности. ри ра- в научных исследований, 1977, 12, с, 157-161 (прототип) ° цит раэыостировки устройства при переВНИИПИ Заказ 886/69 Тираж 883 Подписное

Филиал ГПИ1 Патент», г. Ужгород, ул. Г!роектиая, 1