Способ изготовления емкостного датчика давления

Союз Советсиия

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<>901865 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 0807.77 {2() 2505324/18-10 с присоединением заявки Мо (23)Приоритет - 09.04.76

Опубликовано 30.0182. Бюллетень Но 4

Дата опубликования описания 30. 01, 82

)5 )М К11 3

G 01 L 9/12

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий

)53) УДК 531.787 (088.8) (72) Авторы изобретения

Л.К. Кузнецов, В .П. Пачкив и В.С . Устинов

1 (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЕИКОСТНОГО ДАТЧИКА

ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к технической физике, в частности к способам изготовления датчиков давления.

Известен способ изготовления датчика давления емкостного типа с воздушным зазором между обкладками, в котором упругим элементом, воспринимающим давление, является одна иэ обкладок конденсатора (1j.

Однако изготовленный таким спосо-. бом датчик не обеспечивает достаточной чувствительности.

Известен способ изготовления пленочного датчика. давления емкостного типа, заключающийся в том, что между металлическими обкладками раз" мещавт диэлектрическую пленку из материала типа Кар оп с модулем упругости Е = 5 10з кгс/см, что соответствует чувствительности датчика

8 = 2 ° 10 ф- (2).

Недостатком -известного способа изготовления емкостного датчика является сложность нанесения слоя металлизации на поверхность диэлектри- ческой пленки, а датчик, изготовлен» ный таким образом, имеет недостаточную чувствительность и требует большей трудоемкости при установке на измерительной поверхности сложной формы.

Цель изобретения - повьыение чув .ствительности емкостного датчика давления путем снижения модуля упругости диэлектрической пленки за счет образования в ней микропористой структуры с закрытыми "порами.

1() Поставленная цель достигается тем, что на металлическую обкладку наносят первый слой термореактив- ° ного лака и полнмериэуют его путем нагрева с выдержкой прн установившейся температуре, охлаждают, затем наносят второй слой лака, накладмвают вторую обкладку и подвергают всю структуру повторной полимериэации.

Причем в качестве лака используют

2О.вннифлексовый лак ВЛ-6, полимеризуемый прн температуре 180 — 190 С с выдержкой в течение двух часов для каждого слоя.

При этом во избежание деформации слоя фольги, применяемой в качестве металлических обкладок, в процессе термообработки последняя находится под небольшим давлением. Толщина слоя лака с образованной в нем микропористой структурой 20 — 30 мкм.

901865

Формула изобретения

Р

08 УФ РЮ РР 1Р 18 14 7,6 1 Ф Ра м

Составитель В.Козлов

Редактор E.Äè÷èícêàÿ Техред С. Мигунова Корректор О.Билак г

Заказ 12364/51 Тираж 882 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушакая наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

На чертеже представлена кривая зависимости чувствительности датчика от измеряемого давления при постоянном напряжении питания (U„ =

70 В), полученная в ударной трубе. чувствительность датчика, иэготов- 5 ленного предлагаемым способом, в несколько десятков раз выше чувствительности датчика, изготовленного известным способом,и составляет

10 — 2-10 ;;. При этом вследствие 10

"Я Ц малос т и толщйны диэлек тричес кой плен ки и слоев металлизации частотный диапазон датчика остается достаточно широким (сотни килогерц).

Повышенная чувствительность позволяет использовать изготовленный предлагаемым способом датчик при исследованиях на поверхностях сложной формы в машиностроении, турбостроении и т. д. 20

1. Способ изготовления емкостно25 го датчика, давления, заключающийся в том, что между металлическими об кладками размещают диэлектрическую пленку, о тличающийс я тем, что, с целью повышения чувствительности датчика путем снижения модуля упругости диэлектрической пленки за счет образования в ней микропористой структуры с закрытыми порами, на металлическую обкладку наносят первый слой термореактивного лака и полимеризуют его путем нагрева с выдержкой при установившейся температуре, охлаждают, наносят второй слой лака, накладывают вторую обкладку и подвергают его структуру повторной полимериэации.

2", Способ по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что в качестве лака используется винифлексовый лак ВЛ-б, полимериэуемый при температуре 180

190 С с выдержкой в течение двух часов для каждого слоя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Туригин A.Ì. Электрические измерения неэлектрических величин. М., 1966, с . 44-46.

2. Шателье М. Пленочный датчик, давления. Франция, изд-во ОЕА, 1976 (прототип) .