Патент ссср 94394

№ 94394

Класс 21g, 35

СССР

Ж

=. iiijjg

0ПИСАНИ ИЗ0ВРЕТЕНЙУ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Д. В. Фетисов и В. И. Почтарев

ВАКУУМНОЕ РАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

Заявлено 18 мая 1951 г. за М 3773/444922 в Министерство электропромышленности СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» М 16 за 1964 г.

В современной технике широко используются вакуумные приборы различного назначения, которые по характеру своей работы должны периодически сообщаться с атмосферой, как, например, электронные микроскопы, осциллографы, многочисленные измерительные вакуумные установки и т. п.

Такие приборы имеют обычно вакуумную установку, состоящую из диффузионного (масляного или ртутного) насоса, форвакуумного баллона и форвакуумного насоса. Все эти элементы соединяются с помощью или нескольких кранов, или многоходовыми кранами, или распределительными устройствами клапанного типа или, наконец, с помощью комбинаций кранов с клапанами.

В последнее время получили распространение распределительные устройства, управляемые одной рукояткой. Однако эти устройства часто оказываются сложными и недостаточно надежными ввиду того, что имеют несколько подвижных уплотнений, изолирующих их камеры от атмосферы.

Вакуумное распределительное устройство, выполненное согласно настоящему изобретению, отличается от известных тем, что в нем сокращено число подвижных уплотнений, изолирующих вакуумную распределительную камеру от атмосферы. Для этого все подвижные части клапанов, включая поворотный распределительный валик с кулачками, расположены внутри камеры, в наружной стенке которой имеется лишь одно подвижное уплотнение для распределительного валика, несущего рукоятку.

На чертеже изображена вакуумная установка с распределительным устройством в разрезе.

Вакуумная распределительная камера образована цилиндром 1, который разделен на два отсека перегородкой, имеющей отверстие с № 94394 уплотнением 2. Внутри камеры помещен поворотный распределительный валик 8 с кулачками 4. Один конец валика выведен наружу через отверстие 5 в торце цилиндра, снабженное уплотнением.

К левому отсеку камеры присоединены диффузионный насос б и патрубок 7, соединяющий камеру с откачиваемым прибором (на чертеже не показан). К правому отсеку камеры присоединены патрубки

К 9 и 10, связывающие его соответственно с форвакуумным баллоном

11, форвакуумным насосом (на чертеже не показан) и левым отсеком камеры.

Каналы, соединяющие вакуумную камеру с диффузионным насосом б и форвакуумным баллоном П, перекрываются соответственно клапанами 12 и 18. Канал, соединяющий левый и правый отсеки камеры, перекрывается клапаном 14. Воздух впускается в откачиваемый прибор через фильтр 15 шлифовым краном 16.

На выведенном наружу конце поворотного распределительного валика имеется рукоятка, при помощи которой распределительное устройство может иметь следующие четыре положения:

1) «Закрыто» вЂ” все клапаны закрыты.

2) «Форвакуум» вЂ” клапан 14 открыт, остальные закрыты; форвакуумный насос откачивает прибор.

3) «Высокий вакуум» вЂ” открыты клапаны 12 и 18; откачиваемый

i:ðèá0ð, диффузионный насос, форвакуумный баллон и форвакуумный насос включены последовательно.

4) «Всздух» (впуск воздуха в прибор) — открыт кран lб; прибор сообщается с атмосферой через фильтр; форвакуумный насос продолжает откачивать диффузионный насос все время, пока прибор сообщен с атмосферой.

Устройство не нуждается в применении уплотнений для каждого клапанного штока в отдельности, что характерно для распределительных систем с наружным расположением кулачкового валика. Здесь также исключена возможность случайного впуска воздуха в работающий диффузионный насос, так как клапан 12 диффузионного насоса и клапан 18 форвакуумного баллона удерживаются атмосферным давлением и могут открыться лишь при достижении в отсеках разряжения около 20 — 25 мм рт. ст.

Предмет изобретения

Вакуумное распределительное устройство для вакуумных приборов, периодически сообщающихся с атмосферой, представляющее собой систему клапанов, управляемых одной рукояткой и служащих для осуществления соединений между вакуумным прибором и форвакуумным и диффузионным насосами через вакуумную распределительную камеру, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности работы устройства путем сокращения числа подвижных уплотнений, изолирующих указанную камеру от атмосферы, все подвижные части клапанов, включая поворотный распределительный валик с кулачками, расположены внутри вакуум но-распределительной камеры, в стенке которой предусмотрено одно подвижное уплотнение для распределительного валика, несущего рукоятку.

Редактор И. Г, Карпас

Техред Ю. В. Баранов Корректор О. Б. Тюрина

Подп. к печ. 10!Ъ И вЂ” 64 г. формат бум. 70 К 10S:/ù Объем 0,26 изд. л.

Заказ 1662/17 Тираж 200 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр. пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2.