Способ измерения толщины слоев материала

 

Союз Советскнх

Социалнстических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ВТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 20.12.78 (21) 2698901/25-28 (51)М. Кл.

3 с присоединением заявки 9 2698902/25-28 (23) Приоритет

G 01 В 7/06

Государственный комитет

СССР по деяам нзоСретеннй н открытнй

Опубликовано 30.1281. бюллетень Но 48

Рз) ЮК 620.179.14 (088.8) Дата опубликования описания 30. 12. 81 (72) Авторы изобретения

В. Г. Брандорф, Ю. Н. Киэ илов и Ж. А. Ямпольский

Львовский лесотехнический институт (71). Заяв итель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ МАТЕРИАЛА

Изобретение относится к средствай электромагнитной размерометрии и может быть использовано для измерения толщины материала с токонесущими прослойками в их структуре.

Известен способ контроля толщины материала с токонесущими прослойками, заключающийся в том, что регистрируют накладным индуктивным преобразователем магнитное поле, создаваемое этими прослойками, и по сигналам преобразователя судят о результатах контроля (1).

Однако точность контроля этим способом недостаточная, так как отсутствуют средства для фиксации пространственно-временных параметров указанного поля.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ измерения толщины слоев материала с токонесущими прослойками, заключающийся в том, что регистрируют накладным индуктивным преобразователем параметры магнитного поля, создаваемого этими прослойками, и по ним судят о результатах измерения 1.22.

Однако точность измерения материалов со сложным профилем этим

„-пособом недостаточная, так как при измерении профиля сигналы индуктивного преобразователя неоднозначно соответствуют толщине материала.

Цель изобретения — повыаение точности измерения материалов со ,сложным профилем.

Эта цель достигается тем, что регистрируют градиенты магнитной индукции поля по ортогональным направлениям и ло величине суммарного сигнала определяют толщину слоя.

Рекомендуется токонесущие прослойки располагать между слоями

15 материала в плоскости его сечения, поочередно возбуждать в этих прослойках токи, перемещать индуктивный накладной преобразователь в зоны риксированных значений его сигналов

2ч я по величине перемещения определять толщину слоя между укаэанными про слойками.

На чертеже представлена блок-схема устройства, реализующего данный способ.

Устройство содержит источник 1 переменного тока, подключаемый посредством коммутатора 2 к электропроводящим прослойкам в структуре

30 материала 3, накладной индуктивный

894336

Составитель A. Духанин

Техред А. Бабинец Корректор С. Шекмар.

Редактор С. Тара.ненко

Тирах 645 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 11437/60

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4 преобразователь 4, который при пере- . мещении может занимать положения

5-7.

Способ реализуется следующим образом.

Коммутатором 2 возбуждают электропроводящие прослойкй материала 3, которые таким образом становятся токонесущими и создают магнитное поле в окружающем этот материал пространстве. Градиенты магнитной индукции этого поля регистрируют преобразователем 4. При регистрации этот преобразователь перемещают, например по нормали к.касательной в экстремальной точке профиля материала

3, в положении 5-7, по координатам которых судят о измеряемой толщине. Сигналы преобразователя должны быть равны заранее фиксированным значениям при соответствующих положениях коммутатора 2.

При координатно чувствительном преобразователе регистрируют составляющие поля по нескольким заранее выбранным координатам (напри-мер, в ортогональной системе координат) и определяют функцию от этих составляющих, например их суммируют. формула . изобретения с. Способ измерения толщины слоев материала с токонесущими прослойками, заключающийся в том,что регистрируют накладным индуктивным преобразователем параметры магнитного поля, создаваемого этими прослойками, и по ним судят о результатах измерения, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения материала со сложным профилем, регистрируют градиенты магнитной индукции поля по ортогональным направлениям и по о величине суммарного сигнала определяют толщину слоя.

2. Способ по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что токонесущие прослойки располагают между слоями

t5 материала в плоскости его сечения, поочередно возбуждают в этих прослойках токи, перемещают индуктивный накладной преобразователь в эоны фиксированных значений его сигналов

Щ и по величине перемещения определяют толщину слоя между указанными прослойками.

Источники информации, принятые so внимание при экспертизе

1. Неразрушающий контроль материалов и изделий. Справочник. Под ред. Г.С. Самойловича. М., "Машино- строение", 1976, с. 250.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 619783, кл. G 01 В 7/06, 1977 (прототип) .

Способ измерения толщины слоев материала Способ измерения толщины слоев материала 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх