Травитель монокристаллов тугоплавких металлов

(72) Автор изобретения

P.Ш. Насыров

i .г.",;

Ордена Трудового Красного Знамени инстнФуж физики металлов Уральского научного центра АН СССР (71) Заявитель (54) ТРАВИТЕЛЬ МОНОКРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ

МЕТАЛЛОВ, 17,0-19,0

Изобретение относится к металлур1 гии и может быть применено для контроля совершенства кристаллов туго плавких металлов.

Известен травитель Мураками, который широко используется для электрохимического травления монокристаллов вольфрама и молибдена 1.1.

Недостатком этого травителя является то, что при исследований вольфрама высокой частоты он не полностью выявляет субграницы, обнаруживаемые рентгеновскими топографическими методами на плоскостях (100).

Наиболее близким к предлагаемому

1$ является раствор для химической полировки тантала и ниобия, составленный из 2,5 частей 96Х-ной H SO + часть

70Х-ной HNOq+ 1 часть 48Х-ной HF 21, Недостатком данного раствора является низкая эффективность выявления субструктуры монокристаллов тугоплавких металлов.

Цель изобретения - более эффективное выявление субструктуры мононрис» таллов тугоплавких металлов в - ряду вольфрам, молибден, ниобий.

Поставленная цель достигается тем, что травитель монокристаллов туго .плавких металлов, содержащий серную, азотную и фтористоводородную кислоты дополнительно содержит фторид калия или натрия при следующем соотношении компонентов, вес.Х:

Серная кислота (96X-ная) 46, 0-48, О

Азотная кислота (70Х-ная)

Фтористоводородная кислота (48Х-ная) 29,0-31,0

Фторид калия или натрия 4,8-5,2

Пример 1 ° Осуществляют, травление монокристалла вольфрама на плоскости шлифа (100) раствором травителя, содержащим, вес.Х: 96Х-ной

881158

Формула изобретения

Составитель В. Рыцарев

Редактор И. Мнтровка Техред Ж.Кастелевич Корректор Г. Назарова

Тираж 336 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 9879/44

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 серной кислоты 46, 707-ной азотной кислоты 17, 48Х-ной фтористоводородной кислоты 29, фторида .калия 5,2, остальное вода. Время травления 4045 с, температура 20-25оС. Шлифы, отполированные и промытые в воде, переносят в травитель со смоченной поверхностью. На протравленной поверхности хорошо выявляются дислокации, а также субграницы. 10

Пример 2. Для травления плоскости (100) молибдена используют раствор, содержащий вес. .: 967.-ной серной кислоты 48; 70Х-ной азотной кислоты 19, 487O-ной фтористоводородной кислоты 30, фторида натрия 5,2 остальное вода. Время травления 1015 с, температура 20-25оС Ямки травления имеют вид хорошо ограненных треугольных пирамид. 20 т

Пример 3. Для травления плос. кости (111) монокристалла молибдена используют раствор аналогичный примеру .2. Время. травления составляет 2025 с,температура 20-25 С. Ямки трав- 25 ления в виде ограненных треугольных пирамид.

Пример 4 ° Для травления плоскости (ill) монокристалла ниобия используют раствор аналогичный примеру Зп

1, но с содержанием 28 вес.Х 48Х-ной

1 фтористоводородной кислоты.и S вес.7 фторида натрия. Время травления 1015 с, температура 20-25 С. Получены крупные, контрастные фигуры травления, имеющие вид четко ограненных пирамид.

Использование предложенного травителя позволяет выявить в 20-30 раэ

4 больше дислокаций на плоскости монокристаллов вольфрама с относительным остаточным электросопротивлением у = (2,4-0,5) ° 10, получать крупные, контрастные фигуры травления на плоскостях (111) и(100) монокристаллов ниобия и молибдена, а также более подробно выявлять субграницы в.исследуемых кристаллах.

Травитель монокристаллов тугоплавких металлов, содержащий серную, азот-. ную и фтористоводородную кислоты, о т л и ч а ю, шийся тем, что, с целью обеспечения более эффективного выявления субструктуры монокристаллов тугоплавких металлов в ряду воль-. фрам, молибден, ниобий, он дополнительно содержит фторнд калия или натрия при следующем соотношении-компонентов, вес.Х:

Серная кислота (967-ная) 46,0-48,0

Азотная кислота (7ОХ-ная) 17,0-) 9,0

Фтористдводородная кислота(487-ная) 29,0 31,0

Фторид калия или натрия . 4,8-5,2

Источники информации принятые во внимание при экспертизе

1. Пшеничнов Ю.П. Выявление тонкой структуры кристаллов. М., "Металлур= гия", 1974, с. 466.

2. "Acta Hetallurg", .1957, ч, 6, У 2, р. 120-1 22 (прототип),