Фотоэлектронный прибор

ПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Соеетскик

Социалистическими,Республик

<и879676

Х АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву(22) Заявлено 020180 (21) 2862386/18-21 (511 М. К„.8

Н 01 Х 41/50 с присоединением заявки Мо

Государственный комитет

СССР по делам- изобретений и открытн и (23) Приоритетг

Опубликовано 07.11.81. Бюллетень йо 41 (5З) УДК 821..383. .811(088.8) В

Дата опубликования описания 07.1181

В.Г. Кучеров, С.В. Липатов, В.A. Миллер, Б.М. Степанов и Е.И. Титков (72) Авторы изобретения (7() Заявитель (54) ФОТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР И СПОСОБ

ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении фотоэлектронных приборов (ФЭП) с низким уровнем шумов °

Известен ФЭП с низким уровнем шумов, в частности малошумящий элект» роннооптический преобразователь (ЭОП) с вводным фотокатодом (1).

Известен также способ изготовления такого прибора, включающий формирование фотокатода вне прибора в вакуумном манипуляторе, перенос фотокатода из манипулятора в предварительно обезгаженную и откаченную оболочку прибора через стеклянный или металлический штенгель и герметизацию прибора ((1.

Недостатком такого прибора и способа его изготовления является относительно высокий уровень шумов.

Известен также другой фотоэлектронный прибор, содержащий вакуумную оболочку, с металлическим.штенгелем,вводной фотокатод и геттер (2). Известен также способ изготовления такого фотоэлектронного прибора, включающий монтаж геттера в приборе, обезгаживание и откачку оболочки прибора с арматурой на вакуумном посту, активировку геттера, отпай оболочки с вакуумного поста, перенос фотокатода из катодной колбы вакуумного манипулятора в прибор через металлический штенгель и холодный отпай штенгеля (3).

Недостатком этого фотоэлектронного прибора и способа его изготовления является относительно высокий

Уровень шумов, малый срок службы и сложность изготовления.

Целью изобретения является уменьшение уровня шумов, увеличение срока службы и упрощение технологии.

15 Поставленная цель достигается тем, что в фотоэлектронном приборе, содержащем вакуумную оболочку с металлическим штенгелем, вводной фотокатод и геттер, геттер нанесен

20 на плоскую подложку из пластичного металла, обеспечивающего вакуумноплотный спай с материалом штенгеля, закрепленную в; месте холодного отпая штенгеля вне рабочего объема прибора в его прикатодной области, а в способе его изготовления, включающем монтаж геттера в приборе, обезгаживание и откачку оболочки прибора с арматурой на вакуумном посту, активи30 .ровку геттера, отпай оболочки с

879676

Формула изобретения

1. Фотоэлектронный прибор, содержащий вакуумную оболочку с металли40 ческим штенгелем, вводной фотокатод и геттер, отличающийся тем, что, с целью уменьшения уровня шумов увеличения срока службы и упрощения технологии, геттер нанесен

45 на плоскую подложку из пластичного металла, обеспечивающего вакуумноплотный спай с материалом штенгеля, закрепленную в месте холодного отпая штенгеля вне рабочего объема пРибора в его прикатодной области.

2. Способ изготовления фотоэлектронного прибора по п. 1, включающий ,монтаж геттера в приборе, обезгаживание и откачку оболочки прибора с арматурой на вакуумном посту, активировку геттера, отпай оболочки с вакуумного поста, перенос фотокатода из катодной колбы вакуумного манипулятора в прибор через металлический штенгель и холодный отпай штенгеля, ф0 отличающийся тем,что активировку геттера производят в изолированном от катодной колбы отсеке манипулятора после отпая оболочки с вакуумного поста, а монтаж геттера осуществляют после переноса фото вакуумного поста, перенос фотокатода из катодной колбы вакуумного манипулятора в прибор через металлический штенгель и холодный отпай штенгеля, активировку геттера производят в изолированном от катодной колбы отсеке манипулятора после отпая оболочки с вакуумного поста, а монтаж реттера осуществляют после переноса фотокатода в прибор путем одновременного пережима штенгеля и пластичной подложки.

На фиг. 1 изображен фотоэлектронный прибор; на фиг. 2 — узел 1 на фиг. 1; на.фиг. 3 — устройство для изготовления предлагаемого прибора.

Электроннооптический преобразователь с металлокерамической оболочкой

1 снабжен металлическим, например, медным штенгелем 2. В штенгеле смонтирован геттер 3. Изготовленный вне прибора вводной фотокатод 4, например многощелочной, смонтирован на фотокатодной манжете 5 °

Геттер 3 выполнен, например, в виде бариевой или титановой пленки б на плоской медной подложке 7, закрепленной в месте пережима штенгеля 2.

Фотокатодная рамка 8 с фотокатодом 4 закреплена на катодной манжете

5 вблизи от осевой плоскости штенгеля, в которой размещена подложка 7 .геттера.

Такое взаимное расположение геттера и фотокатода обеспечивает отсутствие искажений в однородном электростатическом поле в области фотокатода.

ЭОП работает следующим образом.

Под действием М излучения, поступающего на фотокатод через входное окно прибора, фотокатод эмитирует фотоэлектроны. Последние ускоряются в однородном электростатическом поле, создаваемом кольцевыми электродами, фокусируются постоянным магнитным полем, создаваемым соленоидом (на чертеже не показан) и бомбардируют выходной экран ЭОПа.

Встроенный в металлический штенгель геттер обеспечивает стабильный вакуум в приборе в процессе его работы и хранения, что позволяет улучшить параметры и упростить конструкцию фотоэлектронного прибора.

Металлокерамическая оболочка 1

ЭОПа с металлическим штенгелем 2 и приваренным к нему отсеком 9 вакуумного манипулятора через стеклянный штенгель 10 обезгаживается и откачивается на вакуумном посту обеэгажи вания (на чертеже не показан).В отсеке 9 предварительно монтируют металлическую подложку 7 геттера и испаритель 11 гетт ера. После обезгаживания оболочки 1 вместе с установленной в ней арматурой стеклянный штенгель

10 отпаивают.

f0

В катодной колбе 12 вакуумного манипулятора на другом вакуумном посту изготавливают фотокатод 4. После этого катодную колбу 12 манипулятора стыкуют в плоскости A-А с отсеком 9 для изготовления геттера.

После обезгаживания и откачки шлюза 13 вскрывают перегородку 14 и производят активировку геттера путем. напыления металлического бария или титана из испарителя 11 на подложку

7. Затем вскрывается перегородка 15, и фотокатод 4 вводят в оболочку 1.

Далее подложку 7 геттера устанавливают в металлическом штенгеле 2 и производят холодный отпай последнего в плоскости В-В. Одновременно с герметизацией прибора происходит закрепление подложки геттера в указанной плоскости таким образом, чтобы большая часть подложки находилась внутри металлического штенгеля.

Предложенным способом изготавливают образцы металлокерамических

ЭОПов с многощелочными и сурьмяноцезиевыми фотокатодами.

Испытания образцов дают положительные результаты. Приборы, изготовленные таким способом, обладают улучшенными параметрами (разрешающей способностью, коэффициентом преобразования, электрической прочностью) и увеличенным сроком службы по сравнению с приборами, изготовленными известным способом. Выход годных иэделий гиэвышается на 15-20%.

879676 катода в прибор путем одновременного пережима штенгеля и пластичной подложки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Буталов М.М. и др. Электроннооптические преобразователи и их применение в научных исследованиях.

М., Наука, 1978, с. 116-119.

2. Справочник ЭОПы, усилители лучистых потоков и диссенторы для научных исследованиЯ . M., Атомиэдат, 1977, с. 258 (прототиП).

3. Кондрашова Л.И. и др. Металлокерамический ЭОП УМК-92ЩВ. Сборник тезисов 111 Всесоюзной научно-технической конференции Фотометрия и ее метрологическое обеспечение .

М., 1979 (прототип).

879676

Тираж 787 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 9732/24

Филиал ППП Патент, r. УжгоРод, ул. Проектная, 4

Составитель В. Белоконь

Редактор П. Горькова Техред А.Ач КорректорА,. дзятко