Способ защиты высоковакуумных систем и устройство для его осуществления

(ii> 879054

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сиев Свветскни ввкиялнстнчесннх

Реснублнн

=-Ф хх (61) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 06.04.79 (21) 2748625/25-06 с присоединением заявки Л (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.11.81. Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования описания 07.11.81 (51) М Кл з

F 04 F 9/06 гасударственный квмнтет

w JLM3%f изобретеннй н аткрытнй (53) УДК 621.528.3 (088.8) (72) Автор изобретения

Г. Х. Чеджемов

Кемеровский государственный университет (71) Заявитель (54) СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ

СИСТЕМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО

ОСУЩЕСТВЛ ЕН ИЯ

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к технике получения высокого вакуума при помои и диффузионных насосов.

Известен способ зашиты высоковакуум ных систем от паров рабочей жидкости насосов. включающий разделение потоков откачиваемого газа и паров, охлаждение последних и их конденсацию.

Устройства, реализуюшие этот способ, содержат корпус с впускным и выпускным патрубками и установленный в корпусе резервуар для хладагента с расположенным

B нем сосудом, причем впускной патрубок герметично введен внутрь сосуда через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда кольцевой зазоо, а выпускной расположен тангенциально и герметично сое динен с цилиндрической поверхностью сосуда в зоне присоединения к нему впускного патрубка (1).

Защитное действие устройства основано на том, что молекулы пара рабочей жидкости насоса, сталкиваясь с охлаждаемой поверхностью устройства, охлаждаются и конденсируются на ней, а молекулы газа проходят через устройство без конденсациии.

Однако при реализации известного спо соба защиты высоковакуумных систем недостаточное замедление потока паров приводит к снижению эффективности защиты

В то же время поток газов, проходящий через устройство, не ускоряется, что сни5 жает пропускную способность ловушки.

Целью изобретения является повышение эффективности защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкости насосов.

10 Указанная цель достигается тем, что поток паров замедляют одновременно с их охлаждением, а поток газов ускоряют пе ред разделением потоков.

Для этого в устройстве внутри впускно15 го патрубка с- зазором относительно последнего расположена гильза со сферическим отражателем, присоеднненпая с тепловым контактом к входному торцу впускного патрубка, а на последнем установлен нагреватель, расположенный вне корпуса, кроме того внутри выпускного патрубка параллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок, а на внутренней поверхности сосуда в зоне;,àñïîëîæåíèÿ впускного патрубка и перпендикулярно к его оси закреплен ряд тонкостенных шайб.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство разрез; на фиг. 2 — то же, раз30 рез по оси выпускного патрубка.

879054

Устройство для защиты высоковакуумных систе т содержит корпус 1 с впускным и выпускным патрубками 2 н 3 и установленный в корпусе 1 резервуар 4 для хладагента с расположенным в нем сосудом 5, причем впускной патрубок 2 герметично введен внутрь сосуда 5 через его дно и образует с внутренней поверхносттно сосуда 5 кольцевой зазор, а выпускной патрубок 3 расположен тангенциально и герметично соединен с цилиндрической поверхностью сосуда 5 в зоне присоединения к нему впускного патрубка 2. Внутри впускного патрубка 2 с зазором относительно последнего расположена гильза 6 со сферическим отражателем 7, присоединенная с тепловым контактом к входному торцу впускного патрубка 2, а на последнем установлен нагреватель 8, расположенный вие корпуса 1. Внутри выпускного патрубка 3 параллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок 9, а на внутренней поверхности сосуда 5 в зоне расположения впускного патрубка 2 и перпендикулярно к его оси закреплен ряд тонкостенных шайб 10.

Устройство для защиты высоковакуумных систем работает следующим образом.

Молекулы откачиваемого газа по гильзе 6 поступают на отражатель 7, составляющий единое целое с гильзой 6 и имеющий температуру окружающей среды или более высокую температуру при включенном нагревателе. 8. Отразившись от него, молекулы газа поступают в выпускной патруоок 3 и откачиваются насосом.

Молекулы паров рабочей жидкости диффузионного насоса попадают в выпускной патрубок 3. В этом патрубке, ттазделенно т тонкостенными перегородками 9 на ряд каналов, молекулам пара задается однонаправленное движение. Поток паров тангенциально поступает в кольцевой зазор между внутренней поверхностью сосуда 5 и впускным патрубком 2. Тотткостеттттьте шайбы 10 препятствуют движению молекул пара вдоль оси сосуда:и замедляют движение последних, что позволяет обеспечить более полную их конденсацию.

Предлагаемый способ защиты высоковакуумных систехт от паров рабочей жид4 кости насосов и устройство для защиты высоковакуумных систем позволяют практически полностью конденсировать пары рабочей жидкости насосов н нсклточить их

5 попадание в вакуумируемый объем, при этом скорость откачки газов из объема в

1,5 — 2 раза увеличивается.

Формула изобретения

1. Способ защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкости насосов, включающий разделение потоков откачиваемого газа и паров, охлаждение послед15 них и Нх конденсацию, отл и ч а ющи йся тем, что с целью повьтнтения эффективности защиты, поток паров замедляют одновременно с их охлаждением, а поток газов ускоряют перед разделением потоков.

20 2. Устройство для защиты высоковакуумных систем, содержащее корпус с впускным и выпускным патрубками и установленный в корпусе резервуар для хладагента с расположенным в нем сосудом, причем

25 впускной патрубок герметично введен внутрь сосуда через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда кольцевой зазор, а выпускной расположен тангенци ально и герметйчно соединен с цилиндри30 ческой поверхностьто сосуда в зоне присоединения к нему впускного патрубка, о т л ич а ю щ е е с я тем, что внутри впускного патрубка с зазором относительно последнего расположена гильза со сферическим от35 ражателем, присоединенная с тепловым контактом к входному торцу впускного патрубка, а на последнем установлен нагреватель, расположенный вне корпуса.

3. Устройство по п. 2, о тл и ч а ю ш е е40 с я тем, что внутри выпускного патрубка параллельно его оси установлен ряд тонкостен IbIx перегородок, а на внутренней поверхности сосуда в зоне расположения впускного патрубка и перпендикулярно и

45 его оси закреплен ряд тонкостенных шайб.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

50 по заявке М 2476584 25-06, кл. F 04 Г 9/06, 1977.

Фиг с

Составитель Н. Юшин

Редактор М. Кузнецова Техред А. Камышникова Корректор T. Добровольская

Подписное

Заказ 7139

Изд. № 558 Тирани 712

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делаги изобретений и открытий

113035, Москва, л(-35, Раушская наб., д. 4!5

Загорская типография Упрполиграфиздата Мособлпсполкогиа