Криогенный вакуумный насос

1п1 8790 l6

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сею @еэетских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.01.80 (21) 2866626/25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.11.81. Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования описания 07.11.81 (51) М. Кл.э

F 04В 37/08

Государственный кемитет

СССР (53) УДК 621.528.1 (088.8) пе делам иаобретеиий и открытий (72) Автор изобретения

С. П. Литвинов (71) Заявитель (54) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен криогенный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенный в нем сосуд с хладагентом (1). 5

Однако такая конструкция не дает возможности обеспечить надежный контроль за уровнем хладагента.

Цель изобретения — повышение стабильности откачных характеристик путем кон- 10 тролирования уровня хладагента.

Это достигается тем, что внутри сосуда концентрично ему установлен металлический цилиндр, а насос снабжен измерителем электрической емкости, подключенным 15 к сосуду и цилиндру.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 — узел 1 на фиг. 1. 20

Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем сосуд 2 с хладагентом. Внутри сосуда 2 концентрично ему установлен металлический цилиндр 3, а насос снабжен измерителем 4 25 электрической емкости, подключенным к сосуду 2 и цилиндру 3. Цилиндр 3 устанавливается внутри сосуда на диэлектрических изоляторах 5. На поверхности сосуда 2 размещен сорбент 6. 30

Обеспечение контроля за уровнем азота в сосуде 2 производится следующим образом.

По мере заполнения сосуда 2 азотом изменяется электрическая емкость между цилиндром 3 и стенкой сосуда 2. Величина емкости, а следовательно, и уровень азота определяется измерителем 4.

Предлагаемое устройство позволяет поддерживать оптимальным уровень азота в насосе, что исключает и недопустимые изменения параметров насоса и непроизводительный расход азота.

Формула изобретения

Криогенный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенный в нем сосуд с хладагентом, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности откачных характеристик путем контролирования уровня хладагента, внутри сосуда концентрично ему установлен металлический цилиндр, а насос снабжен измерителем электрической емкости, подключенным к сосуду и цилиндру.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Акцептованная заявка Великобритании № 1415332, F 1N, опублик. 1976, 879016

% Ж :У1в с -":

Ял 1

Редактор С. Суркова

Заказ 2337/4 Изд. № 563 Тираж 712 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

1

Ф » )

Составитель О. Тишина

Техред А. Камышникова

Корректоры: В. Павлова и В. Любимова