Турбомолекулярный вакуумный насос

Союз Советскик

Социалистических

Республик

Гевударственный квмнтет

СССР по делаи нзвбретвннй н вткритнй (72) Авторы изобретения (71) Заявитель химического машиностроения (54) ТУРБОМО,ЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС снабженный роторными дисками 4 с рабочими лопатками 5, образующими межлопаточные каналы. Рабочие лопатки 5 выполнены в виде ребер с пересечением плоскостей последних на оси ротора 3, причем ширина в рабочих лопаток 5 в 4 — 5 раз больше максимальной ширины В межлопаточных каналов.

При вращении ротора 3 молекулы остаточного газа, взаимодействуя с рабочими лопатками 5 ротора 3 и статорными дист0- ками 2 переходят на сторону низкого вакуума.

Формула изобретения

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса ротор, снабженный роторными дисками с рабочими лопатками, образующими межлопаточные каналы (1).

Однако в таком насосе имеет место малая быстроходность, . ограниченная прочность материала диска.

Цель изобретения — повышение производительности путем увеличения допустимой частоты вращения ротора.

Указанная цель достигается тем, что рабочие лопатки выполнены в виде ребер с пересечением плоскостей последних на оси ротора, причем ширина рабочих лопаток в

4 — 5 раз больше максимальной ширины межлопаточных каналов.

На чертеже изображен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса 1 ротор 3, Предлагаемая конструкция повышает быстроходность турбомолекулярных насосов и быстроту откачки.

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с укрепленными íà его

20 внутреннеи поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса ротор, снабженный роторными дисками с рабочими лопатками, образующими межлопаточные

846793 ток ны

Составитель О. Тишина

Редактор И. Касарда Техред А. Бойкас Корректор Е. Рошко

Заказ 5430/50 Тираж 712 Подписное

ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 каналы, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности путем увеличения допустимой частоты вращения ротора, рабочие лопатки выполнены в виде ребер с пересечением плоскостей последних на оси ротора, причем ширина рабочих лопав 4 — 5 раз больше максимальной ширимежлопаточных каналов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции № 2097945, F 04 D 19/00, опублик. 1972.