Емкостный преобразователь

Союз Советсннк

Соцналнстнческнк

Реслублнк

ИСАЙ ИЕ <

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 02.08.79 (21) 2807903/18-28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (5!) М. Кл.

G 01 В 7/00

G01 В 7/14

Гасударственный кемнтет

СССР (53) УДК 621.317..39:534.14 (088.8) Опубликовано 07.07.81. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 17.07.81 па делам нэебретений н еткрытий (72) Авторы изобретения

А. Н. Грачева, В. Г. Наливаев, В. H. Николаенко и В. Г. Панов

ВСИС1Щ3И.: и 1 "11 Й! 31 (71) Заявитель (54) ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения расстояний до- контролируемого объекта, в частности расстояний порядка 10 з — 5 10 мкм.

Известно устройство для контроля формы изделий и измерения малых перемещений, содержащее два электрода, один из которых выполнен в форме полушара, охватывающего второй электрод, размещенный в центре шара, причем радиус полушара равен двойному расстоянию от контролируемого объекта до второго электрода (1).

Недостатком устройства является сложность его изготовления, невозможность контроля с его помощью перемещения объектов малых размеров и невысокая точность.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является емкостный преобразователь расстояния до контролируемого объекта, содержащий измерительный и потенциальный электроды, экранирующие электроды, обхватывающие измерительный и потенциальный электроды, а так же фокусирующий электрод, выполненный в виде кольца. Измерительный электрод выполнен в виде заостренного стержня, а потенциальный — в виде кольца, охватывающего острие измерительного электрода (2).

Недостатком его является сложность изготовления конструкции малых размеров и, следовательно невозможность обеспечения высокой чувствительности и точности.

Целью изобретения является повышение точности и чувствительности преобразователя.

Поставленная цель достигается тем, что преобразователь снабжен вторым измерительным электродом, все электроды выполнены в виде параллельных стержней, рабочие торцы потенциального и одного из измерительных электродов лежат в одной плоскости, а торец второго измерительного

1 электрода утоплен относительно этой плоскости на расстояние, равное расстоянию между потенциальным и первым измерительным электродами.

На чертеже приведена принципиальная схема емкостного преобразователя.

Преобразователь содержит потенциальный электрод 1 и два измерительных электрода 2 и 3, выполненные в виде параллельных стержней. Рабочие торцы 4 потенциаль844986

Дифференциальное включение преобразователя и исключение из конструкции экранов, позволяет снизить влияние различных дестабилизирующих факторов на ре-. зультаты измерений и повысить чувствительность вследствие уменьшения размеров преобразователя.

Формула изобретения ного электрода 1 и первого измерительного электрода 2 лежат в одной плоскости. То рец 5 второго измерительного электрода 3 утоплен относительно указанной плоскости на расстояние, равное расстоянию между потенциальным 1 и первым 2 измерительным электродами. К потенциальному электроду подключен источник 6 напряжения, а к измерительным электродам 2 и 3 — дифференциальный усилитель 7 и регистрирующий прибор 8.

Преобразователь работает следующим образом.

С помощью потенциального электрода, подключенного к источнику 6 постоянного или переменного напряжения, в локальной зоне между преобразователем и контролируе- 15 мой поверхностью: (на черт. не показана) создается электростатическое поле, изменение которого вследствие изменения расстояния до контролируемой поверхности приводит к изменению потенциала поверхности измерительного электрода 2. В то же время потенциал измерительного электрода 3 не зависит от положения контролируемой поверхности вследствие указанного выше размещения его рабочего торца 5 относительно торца 4 второго измерительного электрода. Измерительные электроды 2 и 3 подключены к входам дифференциального усилителя 7, усиливающего разностный сигнал, который фиксируется соответствующим прибором 8.

Емкостный преобразователь расстояния до контролируемого объекта, содержащий измерительный и потенциальный электроды, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности преобразователя, он снабжен вторым измерительным электродом, все электроды выполнены в виде параллельных стержней, рабочие торцы потенциального и одного из измерительных электродов лежат в одной плоскости, а торец второго измерительного электрода утоплен относительно этой плоскости на расстояние, равное расстоянию между потенциальным и первым измерительным электродом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 339762, кл. G 01 В 7/00, 1970.

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 625130, кл. G 01 В 7/00, 1976 (прототип).

Редактор Ж. Рожкова

Заказ 4309/9

Составитель Л. Гуськов

Техред А. Бойкас Корректор М. Демчик

Тираж 642 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4