Масс-спектрометр

Авторы патента:

H01J49/26 - масс-спектрометры или разделительные трубки (разделение изотопов с использованием таких трубок B01D 59/44;масс-спектрометры, специально предназначенные для колоночной хроматографии G01N 30/72)

3 1

<н>843027

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

У X

«". " (61) Дополнительное к авт. саид-вувЂ” (5l)M. Кл. (22) Заявлено 17. 08. 79 (21) 2810353/18-25

Н 01 J 49/26 с присоединением заявки №вЂ”

{23) П риоритет

Государственный комитет по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.384 (088.8) Опубликовано30.06.81- Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 30.06.81 (72) Авторы изобретения к

Г.М. Тер-Акопьян и Д. Д. Богданов

r, I г.

1 1

Объединенный институт ядерных исследований(71) Заявитель (54) МАСС-СПЕКТРОИЕТР мов основы

Изобретение относится к масс-спектрометрам и может быть использовано в физических, химических и геологических лабораториях, занимающихся исследованиями, связанными с определением следовых количеств химических элементов.

Известны время-пролетные массспектрометры, содержащие источник ионов, устройство извлечения ионов и формирования пучка, пролетную базу, детектор ионов и устройство для измерения времени пролета ионов от щели источника до детектора 11.

Недостатком время-пролетного массспектрометра является невысокая чувствительность, достигающая для не-, которых наиболее благоприятных ; хи6 мических элементов 1 атом на 10 атоИзвестны также масс-спектрометры, содержащие ионный источник, ана- лизатор и детектор ионов j?).

Недостатком известного масс-спектрометра является невысокая чувствительность, достигающая для лучших приборов 1 атом íà 10 атомов осно8 вы.

Цель изобретения вЂ” повьппение чувствительности масс-спектрометра.

Указанная цель достигается тем, что в масс-спектрометре, содержащем ионный источник, анализатор и детектор, между ионным источником и анали-, затором последовательно установлены газовая мишень, отклоняющий конденса тор и стигматическая ахроматическая ионно-оптическая система, Стигматическая ахроматическая ионно-оптическая система состоит из двух или более дипольных магнитов и одной или более квадрупольнйх электронных линз, причем изображение, создаваемое этой системой, служит для диспергирующей системы в качестве объектной . щели источника.

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 1806.79 (23) 2780938/18-21 (53) M. КЛ. Н 01 Ь 21/00 с присоединением заявим М (23) Приоритет

Государственный комитет

СССР ло делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.06.81, Бюллетень М 24

Дата опубликованмяописания 300681 (53) УДК 621.382 (088. 8) В.Н. Баранов и В.И.Иванов (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УС1 РОЙС1ВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к изготовлению установок для осаждения слоев из парогазовой фазы с лучистым нагревом и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем для проведения процессов эпитаксиального наращивания кремния,. нитрида кремния, низкотемнературного осаждения леги. рованных слоев S10 и т.д.

Известна установка осаждения слоев иэ парогазовой фазы с лучистым нагревом (1).

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является !5 устройство для осаждения слоев из газовой фазы, содержащее реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкодержа- 20 телем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси (2) .

Недостатками известных устройств. являются неравномерность нагрева подложек и низкая надежность.

Цель изобретения вЂ” повышение равномерности нагрева подложек и повышение надежности. 30

Указанная цель достигается тем, что в устройстве для осаждения сло-, ев иэ газовой фазы, содержащем реактор, выполненный в виде двух коаксиально установленных кварцевых оболочек, с размещенным в нем подложкЬдержателем, водоохлаждаемые отражатели с излучателями, расположенные с его внешней стороны, и систему подачи и отвода газовой смеси, наружная кварцевая оболочка реактора выполнена в виде набора цилиндрических стержней, плотно прилегающих друг к другу по образующим.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 вЂ” разрез A-A на фиг. 1.

Устройство для осаждения слоев иэ газовой фазы включает .в себя четыре водоохлаждаемых отражателя 1, внутри которых установлены в шахматном порядке по высоте излучатели

2 типа галогенных или газоразрядных ламп. С отражателями 1 состыкованы фланцы 3 с коллекторами подачи 4 и отвода 5 воздуха, охлаждающего уплотненный в них кварцевый реактор 6.

В фланцах 3 закреплена кварцевая оболочка 7, являющаяся внешней стенкой реактора 6. Кварцевая оболочка 7

Приемное устройство масс-сепаратора // 699956

Датчик трехмерного квадрупольного масс-спектрометра // 693892

Изобретение относится к области масс-спектрометрии и может быть использовано при создании квадрупольных масс-спектрометров с высокой разрешающей способностью и чувствительностью

Способ масс-спектрометрического анализа // 664412

Способ определения масс ионов органическихсоединений // 337142

Способ стабилизации параметров высокочастотного искрового разряда // 319285

Электростатическая линзавсесоюзнаяпатс!|тйп..у''? у^^иг"марsirt j t.ie = tsis ,:..1\ч!! .ij^•lt.••]!iбмь/'ио • fcka i // 301164

Вытягивающий электрод квадрупольного масс-спектрометра с накоплением // 288400

Способ измерения массовых чисел спектральных линий б масс- спектрометрах // 288399

Способ анализа ионов в квадрупольном масс-спектрометре с накоплением // 286330

Масс-спектрометр для газового анализа // 2103763

Изобретение относится к приборостроению, в частности - к масс-спектрометрам, и может быть использовано для газового анализа в металлургии, экологии, медицине, электронной промышленности и других отраслях

Установка для разделения изотопов // 2108141

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для разделения изотопов, например, для разделения тяжелых изотопов

Масс-спектрометр для газового анализа // 2115196

Изобретение относится к приборостроению, в частности к масс-спектрометрии, и может быть использовано для контроля процессов, протекающих с выделением газовой фазы, например, в черной и цветной металлургии

Устройство для разделения заряженных частиц по массам // 2135270

Изобретение относится к ядерной технике, а более конкретно касается разделения заряженных частиц и выделения изотопов из их естественной смеси

Устройство для синтеза фторпроизводных фуллеренов // 2138440

Изобретение относится к вакуумной технике

Способ разделения кластеров в сверхзвуковом разреженном газовом потоке и устройство для его осуществления // 2152655

Изобретение относится к разделению частиц (кластеров) по их массам на фракции газодинамическими силами c последующим их улавливанием на выходе сверхзвукового сопла

Способ получения октадекафторида [60] фуллерена // 2183191

Способ разделения изотопов // 2220761

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для разделения изотопов, например для разделения тяжелых изотопов (атомная масса А>>1)

Плазменный фильтр масс и способ отделения частиц малой массы от частиц большой массы // 2229924

Изобретение относится к ядерной технике

Многоколлекторный магнитный масс-спектрометр // 2231165

Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно к многоколлекторным магнитным масс-спектрометрам, предназначенным для качественного и количественного анализа примесей в матрицах сложного состава, в частности в качестве детектора газового хроматографа с высокоэффективными капиллярными колонками