Способ очистки газа от тетра-хлорида кремния

Г

Л.И. Кутянин, А.Ш. Лукманов, М.С. Сумин, и Я.,Л.Ускач (72) Авторы изобретеив» (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ГАЗА ОТ ТЕТРАХЛОРРЩА КРЕМНИЯ

Изобретение относится к очистке газов от тетрахлорида кремния абсорбцией и может быть использовано в технологии очистки отходящих газов производства тетрахлорида кремния.

Известен способ очистки отходящих газов, содержащих четыреххлористый кремний путем абсорбции его раствором известкового молока, позволяющий эффективно уловить четыреххлористый кремний и продукты его гидролиэа. Об10 разующиеся в результате абсорбции кислые- воды направляют в отстойники-нейтрализаторы и сбрасывают fl ) .

Недостатками способа являются боль«

3$ шой расход известкового молока и безвозвратные потери четыреххлористого кремния.

Цель изобретения — сокращение расхода известкового молока и возможность рекуперации тетрахлорида крем» ния °

Поставленная цель достигается тем, что очищаемый гаэ предварительно об2 рабатывают кубовым остатком стадии ректи@икации сырца тетрахлорида. крем» ния при (-10)-(-30fC с последующим выделением тетрахлорнда кремния из кубового остатка нагреванием.

Способ осуществляется следующим образом.

Газы, содержащие тетрахлорнд кремния, после охлаждения .подают в массообменный аппарат, ороааеюй кубовыми остатками ректнфикации сырца и ет.рахлорида кремния прн (-10)- {-ЗОГС.

Выходящие из аппарата газы с целью удаления остаточных количеств тет" рахлорида кремния направляют на абсорбцию известковым молоком.

Поглощенный кубовыаи остатками четыреххлористый кремний отпаривают. при

70-80 С, конденсируют иащ)аваяют в сборник технического нуодукта, а кубовые остатки возвращают на поглощение.

Пример ). Газовую смесь, содержащую 6,3 об.%.SIС1,, в течение

3 8332

5 ч со скоростью 6,6 л/ч пропускают при -10 С через насадочную колонку, заполненную 70 г кубовых остатков ректификации сырца тетрахлорида кремния следующего состава, вес.%:

SiС1 О, -0,7

S 1 Clg 48,0-61,0

S! С1,0 26,3-44,3

Sl С!8 7-12

Выходящий из насадочной колонки газ содержит 0,1 об.X SiC14 при степени поглощения 84 . и направляется на окончательную очистку абсорбцией известковым молоком. Очищенный таким образом газ 5!С! не содержит, Пример 2. Газовую смесь, содержащую 2,1 об.X 5!С1,,, в течение б ч со скоростью 7 л/ч пропускают о при -23 С через насадочную колонку, заполненную 70 r кубовых остатков, имеющих состав, аналогичный приведенному в примере 1.

Выходящий из насадочной колонки газ содержит 0,018 об.% 5!С!4 при степени поглощения 99,09 и направляется 25 на абсорбцию известковым молоком.

Пример 3. Газовую смесь, содержащую 20,3 об. SiC 14, в течение

2 ч со скоростью 3,5 г/ч пропускают при — 30 С через насадочную колонку, зО заполненную 70 г кубовых остатков, имеющих состав, аналогичный приведенному в примере 1. Выходящий из насадочной колонки газ содержит 0,006об.X

SiC1 при степени поглощения 99,6% ы и направляется на абсорбцию известковым молоком.

Пример 4. 50 г раствора 5!С!! в кубовых остатках полученного в условиях, описанных в примере 3, содержа- 4о щего 12,3 вес. тетрахлорида кремния, помещают в куб разгонной установки и при 75 С проводят отпарку SiClg. Bec полученного Я!С!д 6,1 r что составля90 4 ет 98% от поглощенного количества продукта.

Приведенные примеры показывают, что предварительная обработка очищаемого газа кубовым остатком стадии ректификации сырца тетрахлорида кремния при (-10)-(-30) С позволяет выделить основное количество продукта и резко снизить количество известкового молока подаваемого на доочистку газа.

Проведение процесса предварительной обработки при температуре выше -i0 С резко снижает степень поглощения

SiC1, а снижение температуры менее

-30 С нецелесообразно из-эа незначительного повышения степени поглощения при этом.

Использование предлагаемого способа позволяет сократить потери тетрахлорида кремния с выбросными газами и снизить расход известкового молока.

Формула изобретения .Ю

Способ очистки газа от тетрахлорида кремния путем абсорбции его известковым молоком, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью сокращения расхода известкового молока и возможности рекуперации тетрахлорида кремния, очищаемый газ предварительно обрабатывают кубовым остатком стадии ректификации сырца тетрахлорида кремния при (-10)-(-30) С с последующим выделением тетрахлорида кремния иэ кубового остатка нагреванием.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Фурман ЖХ. Рабовский Б.Г. Основы химии и технологии безводных хлорядов, M.. "Химия", 1970, с. 169-170 (прототип).

Составитель Б. Ягуд

Редактор С. Тараненко Техред A.Áàáèíeö Корректор Г. Назарова

Заказ 3849 6 . Тираж 706 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная,4