Интегрально-оптический тензодатчик
Союз Советскик
Социалистическик
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ
Опубликовано 230331. Бюллетень № 11 (53)М. Кл. G 01 В 11/16 Государствемиый комитет СССР по делам изобретеиий и открытий (53) УДК 531.781..2 (088.8) Дата опубликования описания 2503.81 (72) Авторы изобретения Ю. A Быковский, В. Л. Смирнов и О. И. Московский ордена Трудового Красного Зн инженерно-физический институт (71) Заявитель ГИБЛИ«ТИ (54) ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ТЕНЗОДАТЧИК Изобретение относится к тензометрии и может быть использовано для измерения механических напряжений. Известны оптические датчики механических напряжений, состоящие из оптического волоконного световода и внешних источников излучения, поляризатора, анализатора и фотоприемника (). Недостатком этого устройства является низкая чувствительность к механическим напряжениям из-за деполяризации излучения в волоконном световоде. ;Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является ин гегральной-оптический тензодатчик, сс цержащий источник излучения, фотоприемник и подложку с тензочувствительным элементов в виде полупроводникового волновода, выполненногО по планарной технологии, соединенные между собой волоконными световодами (2 J. Недостатком этого устройства является то, что необходимы внешние источник излучения и фотоприемник, что усложняет конструкцию, а наличие волоконных световодов снижает чувствительность устройства из-за деполяризации излучения. Цель изобретения — повышение чувствительности и упрощение конструкции тензодатчика. С этой целью источник излучения и фотоприемник выполнены из полупроводника на той же подложке по планарной технологии, а состав материала полупроводника волновода отличается на 1-5% по одной из компонент от материала полупроводника источника излучения и фотоприемника. На чертеже показана схема интегрально-оптического тензодатчика. Тензодатчик содержит подложку 1 с нанесенными на нее по планарной технологии источником 2, фотоприемником 3 и тензочувствительным элементом в виде волновода 4. Интегрально-оптический тензодатчик работает следующим образом. Световое излучение от источника 2 распространяется по полупроводниковому волноводу 4 и регистрируется фотоприемником 3. При приложении механического воздействия Р к волноводу 4 его параметры изменяются, что приводит к модуляции излучения и изменению сигнала с фотоприемника 3. Интегрально оптический датчик подобного типа обладает небольшими габа815488 Формула изобретения Составитель H. ужов текреди.иабурка корректор и. Бабииеи Тираж 642 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 333033 Исоиаак К"33, РаУШСКаа Иаб. Д. 4/3 Филиал ППП Патаки", г. Уигород, yrr. Проектиая, 4 ритами и имеет высокую чувствительность, Интегрально-оптический тензодат- . чик, содержащий источник излучения, фотоприемник.и подложку с тензочувствительным элементом в виде полупроводникового волновода, выполненно о по планарной технологии, соединенные между собой волоконными световодами, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и упрощения конструкции, нсточ ник излучения и фотоприемник выполнены из полупроводника на той же подложке, а состав материала полупроводника .волновода отличается на 1-5Ъ по одной из компонент от материала источника излучения и фотоприемника. Источники информациир принятые во внимание при экспертизе 1. Патент СИА " 3645603, кл. 350-149, 1972-(аналог) . 2. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 2633824/25-28 кл. G 001 1 В B 1111//1166, 31978 (прототип).
