Мера толщины пленок
Союз Советских
Социапистичесник
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИ ТНЗЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14. 06. 77 (2t) 2496313/25-28 Р1) М с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет
G 01 В 7/06
Государственный комитет
СССР
IIo дмам изобретений н открытий
Опубликовано 150381. Бюллетень Hо 10 (53) УДК 531. . 717 (088. 8) Дата опубликования описания 15. 03. 81 (72) Автор изобретения
Р. А. Лаанеотс (7Ф) Заявитель
Таллинский политехнический институт (54) NEPA ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК
Изобретение относится к метрологии, а именно к образцовым мерам для проверки и градуировки средств измерения толщин покрытий.
Известны меры толщины пленок, содержащие подложку прямоугольной или круглой формы и пленку, нанесенную на эту подложку гальваническим, химическим, диффузионным или другим способом (1).
Недостатком таких мер является высокая стоимость, связанная со сложностью нанесения пленки заданной толщины, трудоемкостью аттестации толщины пленки, а также неудобства в эксплуатации, связанные с отсутствием участка для установки толщиномера на нуль.
Известна также мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для астройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку (2j.
Эта мера лишена эксплуатационного недостатка, однако в изготовлении еще более сложна и дорога.
Цель изобретения — упрощение тех-. нологии изготовления и снижение стоимости
Поставленная цель достигается тем, что на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки.
На чертеже изображена мера толщины пленок.
Она содержит. подложку 1, на верхней поверхности которой имеется участок 2 для настройки на ноль толщиномеров. На этой же поверхности подложки выполнены паз, дно 3 которого удалено от верхней поверхности на величину равную требуемой толщине пленки. Пленка 4 заполняет паэ так, что ее. верхняя
15 поверхность совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Прочие размеры меры определяются исходя из размеров измерительных головок толщиномеров.
Нри изготовлении мер верхнюю по20 верхность подложки 1 и дно 3 паза доводят до высокого класса шероховатости, что позволяет с высокой точностью аттестовать его глубину, например ин-. терференционным способом. После нанесения пленки 4 проверяют плоскостность верхней поверхности, что обеспечивает совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки 1.
Проверку и градуировку толщиноме30 ров выполняют с помощью комплекта
813129
Формула изобретения
Составитель В. Рикова
Редактор М. Хома Техред A.Вабинец Корректор Ю.. Макаренко
Заказ 752/47 . Тираж 642 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская.наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 мер с различной толщиной пленок.Толщиномер настраивают на нуль по поверхности подложек на участке 2,где пленочное покрытие отсутствует,а затем перемещают на участок с пленкой
4. Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной пленки.Комплект мер позволяет проверить харак.теристику толщиномера в различных точках.
Мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настройки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, о т л и ч а— ю щ а я с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и снижения стоимости, на верхней поверхности подложки выполнен паз, аттестованный по глубине, пленка внесена в упомянутый паз, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней по верхностью подложки.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1 . "Измерительная техника", 1973, Р 2, с.30-31.
2. Информационный листок М 650-71, Ленинградский ЦНТИ, 1971 (прототип).
