Резистивный материал для тонко-пленочных резисторов
Союз Советских
Социалистических
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
*
„/б - .г .
"«»"
К АВТОРСКОМУ СВИ ИЛЬСИЯР (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 020379 (23) 2733571/18 21 .(51)М
Н 01 С 7/00 с присоединением заявки Нов (23) Приоритет
Государственны" комитет
СССР
00 делам изобретений н открытий
Опубликовано 28.02.81. Бюллетень ЙУ 8
Дата опубликования описания 07. 03. 81 (53) УДК 621.316..8 (088.8) (72) Авторы изобретения
Н.Ю.Юсипов и В.Ф.Корэо (71) Заявитель (54) РЕЗИСТИВНЬЯ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ
РЕЗИСТОРОВ
1 2 3
45 56 35
1,2 1,8 0,3
Осталь ное
Хром
Углерод
Кремний
30
Изобретение относится к технологии изготовления тонкопленочных резисторов, в частности к резистивным материалам для получения резистивиых пленок.
Известны резистивные материалы для получения реэистивных пленок (11 .
Однако они характеризуются недостаточной термостойкостью, а также значительным разбросом параметров резисторов при температурах выше
300ФС
Наиболее близким по технической сущности является реэистивный материал для тонкопленочных резисторов, содержащий сплав хрома и кремния (2 .
Недостаток известного резистивного материала — резкое изменение параметров тонкопленочных резисторов, эа счет недостаточной термостойкос- 20 ти резистивного сплава при температурах выше 400 С.
Цель изобретения — улучшение параметров резистивных пленок.
Поставленная цель достигается тем, что резистивный материал для тонкопленочных резисторов, содержащий сплав хрома и кремния, дополнительно содержит углерод при следу-. ющем соотношении компонентов, вес.Ъ!
Хром 35-56
Углерод 0 3-1 8
Кремний Остальное
Пример. Приготовлено три смеси реэистивных материалов для тонкопленочных резисторов при следующих соотношениях компонентов, вес.Ъ:
Каждую смесь сплавляют отдельно в электрической печи, углерод в виде мелкодисперсной сажи вводят в расплав после плавления хрома и кремния.
Иэ каждой смеси резистивного материала отливают мишень диаметром
130 мм, толщиной 12 мм. После остывания мишень подвергают механической обработке для снятия верхнего слоя на глубину О, 5-1 мм, ионно-плазменным распылением в атмосфере аргона при рабочем давлении 3,4 ° 10 Па иэ нее получают резистивные пленки с поверхностнык сопротивлением 0,51 кОм/мм
Эксплуатационные испытания резиатс ров на основе сплава хром-углеродкремний в температурном интервале до 400 С и в вакууме 10 Па в течение 1000 ч показывают, что изменения номинальных значений сопротивлений составляют не более 7,8%.
Установлено, что оптимальная добавка углерода лежит в пределах 0,31,8 вес,Ъ, дальнейшее увеличение или уменьшение содержания углерода приво- О дит соответственно к снижению термостойкости и термостабильности материала, а также к раэбросу величины
TKC. Оптимальная добавка хрома лежит в пределах 35-56 вес.Ъ, дальнейшее увеличение содержания хрома снижает термостойкость и термостабильность резистивного материала и приводит к росту ТКС, к росту ТКС приводит также дальнейшее сопротивление материала, Использование предлагаемого иэоб- 20 ретения позволяет увеличить термостой. кость и термостабильность реэистивных материалов при температурах до
600 С, что дает возможность испольо зования тонкопленочных резисторов, ! . изготовленных иэ резистивного материала по данному изобретению. в схемах, работающих в интервале температур 400-600 С.
Формула изобретения
Реэистивный материал для тонкопленочных резисторов, содержащий сплав хрома и кремния о т л и ч а
/ ю шийся тем, что, с целью улучшения параметров реэистивных пленок, он дополнительно содержит углерод при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ:
Хром 35-56
Углерод 0,3-1, 8
Кремний Остальное
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент США Р 3996551, кл. 338309 от 7.12.76.
2. ГОСТ 22025-76 "Резистивный сплав РС-4800" (прототип).
Заказ 443f70 Тираж 795 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 е м ); илиал ППП "Патент г. Ужго о л. П оектная
Ф
Р д у р
Ф Редактор К.Лембак Техред Ж.КастелевиЧ Корректор Г На аров
