Устройство для измерения разности давления
Союз Соеетснии
Социалистических
Республик
ОЙЙСАИИЕ
ЙЗОБРЕ1ЕНКЯ (61) Дополнительное к авт. свид-ву Р 591732 (22) Заявлено 040479 (2 .) 274505б/18-16 с присоединением заяви!". л9 (23) приоритет
Опубликовано 301 1.,80, Бюллетень Мо 4 4
Дата опубликования описания 30,1),80.„(„з
G 01 L 13/02
Государстаеииый комитет
СССР по делам изобретеиий и оти роялти Й (53) УДК 531. 787
<088,8) С.А,Азимов, Ш.Д,Бурханов и П,Л.Коропова (71) Заявитель
Физико-технический институт им. С.В.Стародубцева (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗНОСТИ
ДАВЛЕНИЯ
Изобретение относится к области полупроводникового приборостроения и предназначено для использования в контрольно-измерительной технике
Ь и пневмоавтоматике.
В основном изобретении по авт. св. т 591732 î — èñàíî устройство для измерения разности давлений, включающее камеру, упругую диафрагму, разделяющую камеру на два отсека, упор, располохенный в одном из отсеков, и закрепленные между упором и диафрагмой тенэопреобразователи, выполненные в виде упругой подложки с нанесенным на нее полупроводниковым слоем (11.
Недостатком известного устройства является его низкая чувствительность при измерении малых перепадов давления, когда величина деформации тенэопреобразователей мала, следовательно, мало и изменение их сопротивления.
Целью изобретения является повышение чувствительности устройства.
Указанная цель достигается тем, что упругая подложка выполнена Я-образной форель., 30
На чертеже изображено предлагаемое устройство, оно содержит камеру 1, которая разделена на два отсека упругой диафрагмой 2. B одном из отсеков расположен упор, выполненный в виде решетки 3, К диафрагме 2 и упору 3 прикреплены тензопленки 4 и 5, напыленные на Яобразные подложки б и 7. Тензопленки включены в два плеча мостовой схемы
8, в диагональ которой включен регистрирующий прибор 9, фиксирующий разбаланс моста. Итуцеры 10 и 11 служат для подведения измеряемых давлений.
Устройство работает следующим образом. Под действием измеряемой разности давлений диафрагма 2 прогибается и изменяет сопротивления тензопленок 4 и 5. Это изменение сопротивления, пропорциональное разности давлений, измеряется мостовой схемой
Напыление тенэопленок на Я-образную подложку обеспечивает их S-образный прогиб, что в 2 раза увеличива. деформацию„ а следовательно, и изменение сопротивления тензопреобразоват лей при одной и той хе деформации диафрагмы, 783607
Составитель 3. Крусанова
Редактор E.Äàé÷ Техред C. Мигунова Корректор Е,Папп
Заказ 8529/43 ТираУ(1019 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий
113035, Москва, Х-35, Рау ская наб., д, 4/5
Филиал ППП Патент, г. Ухгород, ул. Проектная, Формула изобретения
Устройство для измерения разности давления по авт. св. 8 591732, о т л и ч а ю ц е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности, упругие подложки выполнены Я-образной Формы.
Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство ГССР
9 591732, кл. С 01 L 13/02, 05.04.76.
