Халькогенидное стекло

às п "ентне-ттйх ахнняе к (и>779320

О П И АЙ-"Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 123.278 (21) 2724773/29-33

С51) М. Кл. с присоединением заявки №вЂ”

С 03 С 3/12

Государственный комитет

СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15,11,80, Бюллетень ¹ 42

Дата опубликования описанйя 15,11,80 (53) УДК 666,112.9 (088.8) (72) Авторы изобретения

A.Â. Братов, 3.У. Борисова, А.A. Дунаев, И.Д. Михайлов и В,P. Панус

Ленинградский ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени государственный университет им.А.А.Жданова (7!) Заявитель (54) ХАЛЬКОГЕНИДНОЕ СТЕКЛО

Изобретение относится к составам халькогенидных стекол и может быть использовано в микроэлектронике, оптоэлектронике, ИК-технике, Известно халькогенидное стекло (1), включающее, ат,%:

As 5-35

Те 60-80

Ga 5-15

Однако это стекло обладает низкой температурой размягчения, малой шириной запрещенной зоны и высокой проводимостью и используется в качестве терморезисторов, высокопроводящих припоев и элементов памяти., Наиболее близким к изобретению по составу является халькогенидное стекло, содержащее ат ° %: мышьяк 2060, теллур 40-80. Стекло характеризуется шириной запрещенной зоны 0,8- 20

1,0 эВ, температурой размягчения 901300С легко кристаллизуется при нагревании t2) .

Недостатком халькогенидного стекла на основе мышьяка и теллура является слабая сцепляемость его npu нанесении слоя стекла на основу, например на керамические или стеклянные подложки. Для увеличения сцеп-. пяемости слоев или пленок этого ЗО состава с материалом основы необходимо повышение класса чистоты обработки поверхности основы, а также применение специальных методов очистки поверхности, которые существенно усложняют и удлиняют технологический процесс нанесения слоев или пленок и увеличивают стоимость изготавливаемого изделия.

Цель изобретения — повышение адгезии к стеклу и керамике, Поставленная цель достигается тем, что стекло, содержащее As, Te, дополнительно содержит АО при следующем соотношении компонентов, ат. %: As

19-48; Те 48-76; Ас 2-15.

Халькогенидное стекло синтезируют следующим образоМ, П.р и м е р 1. Вымытую кварцевую ампулу помещают вверх дном в градиентную печь, верх которой имеет температуру 900 С при длине зоны 10 см, В ампулу .вводится кварцевая трубка, по которой в объем ампулы со скоростью 1 мл/мин подаются пары ацетона без примеси воздуха. Процесс пиролитнческого разложения паров ацетона на стенках ампулы проводят 10 мин.

В графитизированную описанным способом ампулу помещают 1,475 r мышьяка

779320 T

Ыирина запрещенной Воды эВ

Сцепляемость с кварцевым стеклом кгс/см

Микротвердость, кгс/мм

Состав, Плотат,% ность

Температура размяг че ния, 0С г/см

АВ

As Te

48 50 2 5,4 150 126

19 76 5 5,5 106 91

4,8

5,7

0,9

0,7

34 51 14 5,1 151 152 0,9 6,1

Формула изобретения

40

Редактор 10. Петрушко

-»» ы»»»»» ыа » «й" М«

Заказ 7955/32 Тираж 528 Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5

""""«»ъ »»»» ймм»»««мы

Филиал ППП Патент, г. ужгород, ул. Проектная. 4

Составитель О, Самохина

Техред A.ùåïàíñêàÿ Корректор Н. Бабинец марки В-3 2,501 r теллура марки В-3 и 0,230 r алюминия марки A-999. Ампулу с шихтой помещают в печь, нагретую до 950-10000С, и выдерживают в теченйе получаса с периодическим перемешиванием расплава в графитизированной части ампулы, Расплав охлаждают закалкой в холодную воду.

Пример 2. Подготовка ампу "лй -и синтез стекла проводятся также, как и в примере 1, но берут 0,506 r мьааьяка, .3,446 r теллура и 0,048 г алюминия,.

Пример З.Берут 1,077 г мышьяка, 2,752 г теллура, 0,171 r алюми- йия A далее, как в примере 1 °

Свойства стекол приведены в таблице.

Полученные стекла легкоплавки, не изменяют физико-химических характериХалькогенидное стекло, включаю;шее As, Те., о т л и ч а ю щ е е"с я "тем, что, с целью повышения адгезии к стеклу и керамике, оно дополнительно содержит А3 при следующем соотношении компонентов, ат. Вг стик при хранении в течение года, имеют высокую кристаллизационную способность, При нанесении расплава стекла, содержащего алюминий, в инертной атмосфере на кварцевую подложку сила сцепления стекла с основой составляет 4,2 — 6,1 кгс/см, в то время как сцепление известного стекла с кварцевой подложкой, прошедшей аналогичную подготовку, не превышает

0 5 кгс/см

Таким образом, применение стекла, содержащего алюминий, позволяет улучшить сцепляемость стекла с ма15 териапом основы по сравнению с прототийом в 8-12 раз, не изменяя других физико-химических характеристик прототипа.

As 19-48

Те, 48-76

М 2-15

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

М 630232, кл, С 03 С 3/12, 1977, 2, Патент Францни М 1465528, кл.С 03 С, опублик. 1967.