Способ градуировки вакуумметров

н ес ищ

Фттбв втька М1:.т»

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

«»767592 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 170778 (2! ) 2644140/18-10 с присоединением заявки ИР (23) Приоритет

Опубликовано 300980. Бюллетень 1 19 36

Дата опубликования описания 300980 (5 1)М. Кл.

G 01 L 27/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.787 (088.8) (72) Автор изобретения

В. В. Куз ьмин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ ВАКУУММЕТРОВ

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано для определения метрологических характеристик вакуумметров.

Известен способ градуировки ваку- 5

>умметров, основанный на расчетном понижении (редукции) давления, Проис ходящем при молекулярном течении гаэа через диафрагмы известной проводимости (1). Недостатком этого спо- 10 соба является сложность п1 оведения граидуировки, связанная с необходимостью измерять давление для каждой экспериментальной точки.

Известен также более простой хронометрнческий способ граидуровки вакууьвлетров, .основанный на расчетном повыаении давления в градуировочной камере 12) .. Этот способ наиболее близок к предлагаемому. 20

Вакуумная система, используемая пан известном способе градуировки, показана на фиг. 1.

К градуировочной камере 1 (известного объема Ч) присоединен градуи- 25 руемый вакуумметр 2. Через диафрагму

3 известной малой проводимости Ч ка,мера 1 соединена с камерой 4, к которой присоединен также образцовый. манометр 5. 30

Способ градуиронки вакуумметров состоит в том, что, после предварительной откачки камер 1 и 4 наполняют газом камеру 4 и устанавливают непрерывный поток газа из камеры 4 в камеру 1 через диафрагму 3, измеряют давление Р, в камере 4 по образцовому манометру 5. При непрерывном повышении давления в камере 1 регистрируют (или записывают) показания градуируемого вакууметра 2 во времени, начиная с момента tð(прн этом контролируют постоянство давления Р, ).

Давление Р„ газа в камере 1, соответствующие произвольным моментам времени t „, рассчитывают по формуле

Р = Pg v(V (1) где и t„ t„

Сопоставляют эти расчетные значения давления Р„ с соответствующими показаниями вакуумметра 2.

Недостатком способа является низкая точность градуировки, обусловленная наличием неучитываемых побочO ных газовых процессов в градуировочной камере (газовыделение со стенок камеры или внутри градуируемого вакуумметра, в «есобенности при высоком и сверхвысоком вакууме, Уравнение (1) предполагает пренебрежимую малость

767592 пОтока газовыделения в камере и вакуумметре, что не всегда справедливо. .Кроме того, данный поток может изменяться от одного цикла градуировки к другому, в связи с чем в реэульта "ах градуйровки содержится постоянная систематическая погрешность, величина

: Которой возрастает при понижении давлейия.

Цель изобретения — повышение точности градуировки.

Эта цель достигается тем, что по. окончании повышения давления откачивают вторую камеру, затем соединяют

" первую камеру с второй, измеряют по образцовому манометру устанавливающееся после расширения давления и по известной зависимости рассчитывают искомые давления в первой градуи° ровочной камере.

Вакуумная система, реализующая предлагаемый способ градуировки ва--:---.---куумметров, изображена на фиг. 2. Она включает камеру 1 объема Ч с присоединенным к ней градуируемым вакуумметром 2. Через диафрагму 3 малой проводимости камера 1 соединена с камерой 4 объема Ч,, к которой также присоединен образцовый манометр 5.

Диафрагму 3 можно открыть или закрыть с помощью клапана б. Параллельно ему помещен клапан 7, с помощью которого

-.--..камеры 1 и 4 можно объединить в единую камеру. Через клапан 8 камера 4 сообщается с дополнительным насосом

9 (или агрегатом), предназначенным для откачки данной камеры.

Предлагаемый способ градуировки

::- ="-sarcyyMMeTðoâ состоит в том, что пос--- :, -.ле предварительной откачки камер 1 и 4 наполняют газом камеру 4 и устанавливают непрерывный поток газа из камеры 4 в камеру 1 через диафрагму

3 (при этом клапаны 7 и 8 закрыты, а клапан б открыт) . При непрерывном повышении давления в градуировочной камере 1 регистрируют (или записывают) показания градуируемого вакуумметра 2 so времени, начиная с момента t< (при этом контролируют пос тоянство давления Р, в. камере 4).

--:Давления Р газа в камере 1, соответствующие произвольным моментам времени t, описываются уравнением р, 3 % < . - (2)

ОР + где q - суммарный поток сорбции и десорбции газа в камере 1. 8 некоторый конечный момент време- ии t< давление P„ в камере 1 (2а) 1 где д = к to к

Закрыв в момент времени ts клапан, б и открыв клапан 8, откачивают камеру 4 доплнительным насосом 9 (или агрегатом) до давлений, пренебрежимо

5 малых по сравнению с конечным давлением Р в камере 1. Затем, закрыв клапан 8 и открыв клапаны б и 7, соединяют камеры 1 и 4. Тогда в обшем объеме Ч + Ч, обеих камер устанавливается давление P

v ч+Ч К (3)

Далее измеряют давление Р по обРазцовому манометру 5.

Решая совместно уравнение (2) (2а) и (3) (а) и (3) относительно давления р получим

V+V, Ы, Р (4)

Сопоставляют эти расчетные значения давления Р в градуировочной камере 1 с соответствующими зафиксированными моментом времени t показателями вакуумметра 2. Расчитанные по уравнению (4) значения давлений Р

1 свободны от погрешностей, связанных- с побочными процессами гаэоотделения в градуировочной камере и в градуируемом вакууммерте, что обеспечивает повышение точности градуировки. Указанные побочные процессы автоматически учитываются при измерении давления

Формула изобретения

Способ градуировки вакуумметров путем повышения давления в первой камере с градуируеьим вакуумметром, происходящего при непрерывной подаче известного потока газа в эту камеру иэ второй камеры с образцовым мано-. метром, и определения давлений, соответствующих зафиксированным в не45 которые моменты времени показаниям градуируейого вакуумметра, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности градуировки, по окончании повышения давления откачиЩ вают вторую камеру, затем соединяют первую камеру со второй, измеряют устанавливающееся после расширения давление по образцовому манометру и по известной зависимости рассчитывау ют искомые давления в первой камере.

Источники информации, принятые во внимание при экспртизе

1. Devis W.D.J.×àñ.Sei.Teehno1.5, 9 1 (19б8) р. 23-33.

2. bushman 5..,,Found C.3. Physi

Rev 15, М 2 (1920), р. 133 (прототип).

767592

Фив. /

I ve. 8

Составитель О. Полев

Редактор Т.Рыбалов Теиред С.Мигунова Корректор Ю.Макаренко

Заказ 7183/38 . Тираж 1019 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4