Манипулятор для измерения барьерных емкостей поверхностно- барьерных структур

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<» 764977

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.07.78 (21) 2637841/25-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

В 25 J 15/00

Государственный комитет

Опубликовано 23.09.80. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 28.09.80 (53) УДК 62! .382..02 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. А. Преснов, О. П. Канчуковский, Л. В. Мороз и А. Л. Шенкевич (71) Заявитель

Одесский государственный университет им. И. И. Мечникова (54) МАНИПУЛЯТОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ БАРЬЕРНЫХ ЕМКОСТЕЙ

ПОВЕРХНОСТНО-БАРЬЕРНЫХ СТРУКТУР

Изобретение относится к электронной технике, непосредственно для измерения барьерных емкостей (менее 0,3 пФ) поверхностнобарьерных структур. Манипулятор может быть применен на преприятиях, занимающихся изготовлением и исследованием поверхностно-барьерных структур, имеющих малые барьерные емкости.

Известен манипулятор для измерения электрических параметров полупроводниковых структур, содержащий пьедестал и контактный зонд (1) .

Однако этот манипулятор не позволяет измерять барьерные емкости поверхностнобарьерных структур.

Наиболее близким устройством является манипулятор для измерения барьерных емкостей поверхностно-барьерных структур, содержащий металлизированный подвижный пьедестал, на котором устанавливается с поверхностно-барьерными структурами полупроводниковая пластина, оптическим контактом к пьедесталу и контактный зонд (2) .

Недостатки манипулятора следующие: наличие паразитной емкости порядка 0,3 пФ между контактным зондом и полупроводниковой пластиной понижает точность измерения и не позволяет измерить барьерные емкости менее 0,3 пФ.

Цель изобретения — повышение точности измерений за счет уменьшения паразитной емкости — достигается тем, что над полупроводниковой пластиной расположен заземленный электрод, размером не менее величины пластины и жестко связанный с пьедесталом, имеющий две взаимно перпендикулярные щели для контактного зонда. Паразит10 ная емкость между полупроводниковой пластиной и контактным зондом практически отсутствует, так как они разделены заземленным электродом.

На фиг. 1 изображен общий вид предлагаемого манипулятора; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Предлагаемый манипулятор содержит подвижный пьедестал 1, на котором расположена полупроводниковая пластина 2 с поверхностно-барьерными структурами 3, рас2О положенными на полупроводниковой пластине; контактный зонд 4, осуществляющий контакт с измеряемой поверхностно-барьерной структурой; заземленный электрод 5, размером не менее размера пластины, имею7

Формула изобретения фиг.1 фиг. Г

Составитель Е. Косинов

Редактор П. Горькова Техред К. Шуфрич Корректор М. Шароши

Заказ 6404/14 Тираж 1033 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

" 76497

Ф .,с щий две взаимно перпендикулярные щели для контактного зонда, жестко связанный с подвижным пьедесталом, электрические стойки 6 для крепления заземленного электрода к подвижному пьедесталу; две взаимно перпендикулярные щели 7 в заземленном электроде для контактного зонда.

Работает устройство следующим образом.

На пьедестале 1 устанавливается полупроводниковая пластина 2 таким образом, чтобы она полностью находилась под заземленным электродом 5. Пьедестал 1 перемеща-сп ется в горизонтальной плоскости таким образом, чтобы сдна из поверхностно-барьерных структур 3 оказалась под кончиком контактного зонда 4. Контактный зонд 4 опускается до соприкосновения е поверхностнобарьерной структурой 3. Г)роизводится отсчет барьерной емкости по измерителю емкости. После этого. контактный зонд приподнимается и перемещением пьедестала под его кончик подводится следующим измеряемый поверхностно-барьерный диод.

Применение предложенного манипулятора позволяет измерить барьерные емкости поверхностно-барьерных диодов порядка

0,003 — 0,004 пФ, что важно при разработке

СВЧ-диодов миллиметрового диапазона, в с то время как с помощью известных устройств нельзя замерять барьерную емкость менее

0,3 пФ.

Манипулятор для измерения барьерных емкостей поверхностно-барьерных структур, содержащий металлизированный подвижный пьедестал, на котором установлена с поверхностно-барьерными структурами полупроводниковая пластина омическим контакттом к пьедесталу и контактный зонд, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения точности измерения за счет уменьшения паразитной емкости, над полупроводниковой пластиной расположен заземленный электрод, размером не менее величины пластины, жестко связанный с пьедесталом и имеющий две взаимно перпендикулярные щели для контактного зонда.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 51830, кл. В 25 Х 15/00, 1976.

2. Смирнов Ю. С. и др. Заводская лаборатория. № 7, 1975, с. 20 — 21 (прототип).