Температурно-градиентная камера для электронного микроскопа

ОПИСАНИЕ

ИЗО Е ЕНИ

Союз Советскнх

Соцналнстнчесттмх

Реслублик

<н758952

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6 т1Дололннтельное к авт. сеид-ву .(2213аявлено 27.04.79 (21) 2759815/18-25 с лрнсоеднненнем эаявкн le (23} Прнорнтет

Опубликовано 070981. бюллетень И9 33 (5()М. Кл 3

Н 01 J 37/26

Госуда ктеекаый коннтет

СССР

IlO яМан N3O6ptTCI4M4 я открытий (53) УДК Û1.38 . .833(088.8) Дата оаублнкоеання олнсання 07 . 09 . 81 (72) Авторы изобретения

В.Н. Рожанский и Н.B. Рожанский

Ордена Трудового Красного Знамени институт кристаллографии им. А.В. Шубникова (71) Заявитель (54) ТЕМПЕРАТУРНО-ГРАДИЕНТНАЯ КАМЕРА

ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано гчя исследования процессов, роста кристаллов и проведения физико-химических исследований в газовой среде напосредственно в электроннэм микроскопе.

Известны нагревательные приспособления для нагрева объектов в электронном микроскопе (1). Однако они лишены замкнутой полости изолированной от вакуумного пространства.

Наиболее близким техническим решением является температурно- градиентная камера для электронного микроскопа, содержащая нагревательный элемент, диафрагму и колпачок с соосными отверстиями, закрытыми Праэрачной для электронов пленкой f2) .

Недостатком известного устройства является сложность создания в камере газовой среды и невозможность одновременного разложения н конденсации исследуемого вещества, что снижает функциональные воэможности микроскопа.

Целью изобретения является упрощение создания в камере газовой среды и расширение функциональных возможностей.

Указанная цель достигается тем, что на внутреннюю поверхность диафрагмы нанесено вещество, о, азующее при нагреве необходимую газовую среду.

Сущность изобретения .поясняется чертежом, на котором показан разрез камеры.

Температурно-градиентная камера ,Е содержит диафрагму 1, которая вставлена в нагревательное приспособление

2 к электронному микроскопу на место объекта и играет роль испарителя вещества, нанесенного на ее внутреннюю поверхнОсть, тонкую пленку 3, выполненную из легких элементов или их соединений (угля, окиси алюминия, окиси бериллия, и др.) и имеющую тохкяину от 100 до 1000 Ао .Пленка 3 является прозрачной для пучка элек @ тронов и закрывает отверстие диафрагмы. Камера закрывается колпачком

4, навинчивающимся на носик объектодержателя и поджимающим диафрагму 1.

Отверстие колпачка для выхода электронного пучка закрыто тонкой пленкой

5, аналогичной пленке 3.

Процесс в температурно-градиентной камере осуществляется следую М,щим образом.

758952

Составитель В. Гаврюшин

Редак. р В. Фельдман Техред И, Рейвес ЕорректорС. Шекмар

Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6748/64

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4

На поверхность диафрагмы наносят вещество, создающее при термическом испарении или разложении неОбходимую газовую атмосферу внутри камер.я, например атмосферу пара РЬ

Тонкая пленка на колпачке, например угольная, Является носителем объекта наблюдения. Предметный столик микроскопа регулируют по высоте так, чтобы для контроля за целостностью тонких пленок можно было фокусировать объектив как на верхнюю, так и на нижнюю пленку. Пленки закрывают отверстия камеры и изолируют ее от вакуумного пространства внутри электронного микроскопа. После включения нагревателя регулировкой тока, питающего.нагреватель, устанавливают требуемую температуру. Диафрагма, расположенная ближе к нагревателю, нагревается сильнее колпачка. Вещество, нанесенное на поверхность диафраг я, испаряется или разлагается и создает внутри камеры газовую среду.

Наблюдение ведется на нижней пленке „ являющейся наиболее холодной поверхностью камеры.

Яа этой пленке происходит конденсация паров иэ газовой атмосферы, содержащейся в камере. На эту пленку можно также предварительно нанести объект наблюдения, если иэучак т его взаимодействие с газовой средой.

Благодаря замкнутости камеры предотвращается загрязнение объекта маслом и продуктами разложения масляных паров, что позволяет исследовать процессы взаимодействия объекта с газовой средой в. чистых условиях.

Диафрагма и колпачок могут выполняться сменными: различных размеров и из различных материалов, что позволит менять условия в камере.

Устройство отличается простотой конструкции и может быть использовано в различных электронно-эондовых устройствах.

Формула изобретения

Температурно-градиентная камера для электронного микроскопа, содержащая нагревательный элемент, диафрагму и колпачок с сооснымн отверстиями, закрытыми прозрачной для электронов

20 пленкой, о т л н ч а ю щ а я с я тем, что, с целью упрощения создания в камере газовой среды и расширения функ- циональных возможностей, внутренняя поверхность, диафрагмы покрыта веществом, образующим при нагреве необходимую газовую среду.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе, 1. Авторское свидетельство СССР

9 237-291, кл. Н 01 J 37-26,1967.

2. Авторское свидетельство СССР

9 118563, кл. Н 01 J 37/26, 1957 (прототип).