Способ определения параметров варизонных структур
1. Способ определения параметров варизонных структур, основанный на измерении зависимости интенсивности фотолюминесценции от энергии квантов в полосе, соответствующей краю фундаментального поглощения, отличающийся тем, что, с целью обеспечения экспрессности контроля параметров по площади варизонных структур с шириной запрещенной зоны, возрастающей от поверхности к указанной подложке, измеряют зависимость интенсивности фотолюминесценции в полосе, соответствующей краю фундаментального поглощения подложки и дифференциальных изменений интенсивности фотолюминесценции при модуляции длины волны возбуждающего излучения, от энергии возбуждающих квантов.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью контроля однородности состава на поверхности варизонных структур, измеряют амплитуду низкоэнергетического пика дифференциальных изменений фотолюминесценции.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью контроля однородности состава вблизи подложки измеряют амплитуду высокоэнергетического пика дифференциальных изменений фотолюминесценции. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью контроля однородности толщины структуры, измеряют относительную величину дифференциальных изменений фотолюминесценции при энергии возбуждающих квантов, большей максимального значения ширины запрещенной зоны.
