Способ определения примесей органических веществ в летучих хлоридах элементов iii - у групп
СПОСОБ ОПРЕДЕИШт-ГЯ ПРГОШСЕП ОРГАНИЧЕСКИХ BEI IECTB В ХЛОРЩАХ ЭЛЕМЕНТОВ III-V 1ТУПппутем пропускания пробы анализируемого вер(ества через колонку, заполненную комплексообразонсятелем на твердом носителе , с последующим газохроматографическим разделением вьщеленных примесей , отличающийся ткм, что, с целью расшфения области применения способа и повышения его чувствительности , в качестве комплексообразователя используют Ы,,с -дгширидил . сл со to ганических примесей от основы осущеи{ ствляют путем взаимодействия треххлосо ристого мьпиьякас трикрезилфосЛатом при , b результате чего образуется Нелетучий комплекс. Недостатком способа является его невысокая чувствительность . При пробе 2 мкл предел обнаружения анализируемых примесей .%. составляет Известен способ газохрпматографического определения оргаш1ческих примесей в треххлористом боре, который включает предварительное отделение анализируемых примесей от основы с
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИX
РЕСПУБЛИН
„„SU„„753249 (51)5 0 01 Н 30/08
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ .И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 2759379/04 (22) 26.04.79 (46) 07.09.91. Бюл. У- 33 (71) Институт химии AH СССР (72) В.А,Крылов, В.Г.Цветков, 1Î.M.Салганский, С.К.Барушков и В.Е.Макаров (53) 543.544.25(088.8) (56) Кузнецова A.Ï. Газохроматографическое определение органических примесей в треххлористом мышьяке особой чистоты, Журнал аналитической химии, 27, 1972, с. 321-323.
Зеляева И.А,. ГазохроматограАический анализ треххлористогo бора на микропримеси, Журнал аналитической химии, 24, 1969, с. 1031-1033, Зуева И.В. Газохроматограйический анализ четыреххлористого кремния на содержание примесей органических веществ, Журнал аналитической химии, 32, 1977, с. 1249-1250.
Изобретение относится к анализу веществ высокой чистоты, в частности к гаэохроматограйическому анализу летучих хлоридов элементов III-Ч групп высокой чистоты, которые широко ис-. пользуются в радиоэлектронике, волоконной оптике и других отраслях промьппленности.
Известен способ газохроматограЬического определения органических примесей в треххлористом мышьяке (AsC1 ) особой чистоты, включающий предварительное отделение анализируемых примесей от основы с последующим их колкчественным определением. Отделение ор2 (54) (57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИЕСЕИ
ОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЦЕСТВ В ЛЕТУЧИХ ХЛОРИДАХ ЭЛГИЕНТОВ ХХХ-Ч ГРУПП путем пропускания пробы анализируемого вещества через колонку, заполненную комплексообразователем на твердом носителе, с последуюпдм газохроматограАическим разделением выделенных примесей, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения способа и повышения его чувствительности, в качестве комплексообразователя используют k,g -дипириди.п, ганических примесей от основы осуществляют путем взаимодействия треххлористого мьппьяка с трикрезилфосйатом при 800С, в результате чего образуется нелетучий комплекс. Недостатком способа является его невысокая чувствительность. При пробе 2 мкл предел обнаружения анализируемых примесей составляет 10 мас.Х.
Известен способ гаэохроматогрзйического определения органических примесей в треххлористом боре, который включает предварительное отделение анализируемых примесей от основы с
753249 и< cледуюн1IM нх количественным опреде.1I tI 1!И (Ъ М . )
Пред11арител1 ное отделение анализируемых примесей осуществляют путем
5 связывания основы с полиметилсилоксаном, нанесенным в количестве 10Х . а носитель сйерохром. Недостатком способа является егo невысокая 1у1 ствительность. 10
Предел обнаружения анализируемых примесей при пробе (0,5-1 мкл) составляет 10 -10
Наиболее близким по технической сущности и достигаемым результатам является способ определения примесей органических веществ в четыреххлористом кремнии путем пропускания пробы анализируемого вещества через колонку, заполненную диАениламином на сйерохроме с последующим газохроматограЬическим разделением выделенных примесей.
Недостатком способа является его нев11сокая чувствительность (5-8) 11 25 к 10 об. X при пробе 2 10 r, а также возможность определения примесей только в четыреххлористом кремнии.
Целью изобретения является рас нирение области применения способа и повьпнение его чувствительности.
Указанная цель достигается предлагаемым способом, который состоит в том, что пробу анализируемого вещества пропускают через колонку, заполнен-1
1 ную комплексообразователем 0C,Ê -дипиридилом на твердом носителе, с последующим газохроматограг1ическим разделением выделенных примесей.
Отличительная особенность способа состоит в том, что в качестве комплексообразователя используют К,R -дипиридил.
Способ состоит в следующем.
Введенная в газовый хроматограА анализируемая проба подается газомносителем в реакционную колонку, за-! полненную 201-ным М,(x -дипиридилом на твердом носителе — хроматоие.
Реакционная и аналитическая колонки помещены в термостат хроматограЬа при 60-68 С.
При прохождении пробы через реакционную колонку летучий хлорид образует с р(,0(-дипиридилом устойчив1гй нелетучий комплекс 3clï(:(,(II †(с .! N) где Э вЂ” элемент III-V группы.
В результате этого основа гггделяется от анализируемых примесей, которые потоком газа-н<н:ите11я подаются в аналитическую колонку, где они разI деляются, и далее регистрируются детектором, Пределы обнаружения анализируемых примесей определяют по калибровочному графику.
II р и м е р 1. Определение примесей органических веществ в тетрахлориде кремния высокой и1стоты (S1C14).
Анализируемая проба SiCI.< (4 мкл), введенная в газовый хроматограЬ
Цвет-110, подается аргоном, осушенным до 10 Е, в реакционную колонну размером 2 мх4 мм, заполненную !
207.-ным((,0(-дипиридилом на хроматоне И-АИ-Н. П)S. Скорость газа-носителя
45 мл/мин. После прохоядения пробы через реакционную колонку отделенные от оснош1 примеси подаются потоком газа-носителя в аналитическую колонку (4 мх4 мм), заполненную 103-ным полиметилсилоксановым эластомером (E)-301 на хроматоне. Реакционную и аналитическую колонку термостатируют при 65 С. После разделения примесг регистрируют электронно-захватным детектором. Для количественного определения анализируемых примесей строят калибровочный график: площадь хроматографического пика — концентрация вещества в газе.
Определение примесей органических веществ в тетрахлориде германии (СеС14), трихлориде бора (ВС1 ), трихлориде Аосйора (РС1 >), трихлорсилане (SiHC1 >) осуществлялось аналогично примеру 1.
В табл. 1 приведены пределы обнаружения анализируемых примесей в указанных хлоридах.
Пример 2. Определение примесей органических веществ в четыреххлористом олове (SnC14).
Анализируемая проба SnC1 4 (4 мкл), введенная в газовый хроматограА Цвет110, подается газом-носителем (аргоном) в реакционную колонку размером
2 мх4 мм, заполненную 20Х-ным б,С(дипиридилом на хроматоне.
Скорость газа-носителя 45 мл/мин.
После прохождения пробы через реакционную колонку отделенные от основы примеси подаются потоком газа-носителя в аналитическую колонку (4 мх х4 мм), заполненную 5Х-ным нитрилсиликоновым каучуком (Е)=60 на хроматоне. Реакционная и аналитическая коо лонка термостатируются при 65 С. По5 753249 б. сле разделения примеси регистрируются электроннозахватным детектором., ля количественного определения анализируемых примесеи строят калибровочньп график:площадь хроматограАического пика — концентрация вещества в газе.
Определение примесей органических веществ в четыреххлористом ванадии (UC1p) треххлористом мьппьяке (АзС1 ), 5 гексахлордисилане (Si C1 ) и окситрихлориде ванадия осуществляют аналогично примеру 2.
Результаты сведены в табл. 2.
753249
I 1
ы о
)0) 0
4 О (d П м t() In л ч) t »э со м»а ! t l !» i 1 1
OOOOOOO «)ОО с))»» (сО л ( — !
1! О
О 0 Х
n((n () + ((((с((с((4 (n
) I I I l l l l I
ОООО-)ОО»)ОО
Л - - (О .Х И) (С ) - Л
В О
td U
4 О
n! (((с. »)) 0 со ((! (I l
ОО ООО м (0 (I
О О л
Р13
» со
« л
1 0
О О
Ы О (0 t0 (((с tnt» (е а
I I l I
О ОООО О
М cd
ОП
0l .0 О
Х Х 0
Л -ф сс) сс) Ф Ф сс) »4) (n с c() (»е Ф
t !» I !
ОООООООО
»О СО
I 1
ы х ) О ХОХ
1 сС а
)О
О
ы а >
Х 0) 1
1 0
О U X
cU О
Р) Д lO (0 4) О (((»0»- (0 Ч(»
OОOO ) М !
О О
»(.
О а («
« л - »с) з—
О (0 4- tn tn ln
О ООООО
С»
l »
О О .х л (o (. (0 (- ul ql (()
» ((ОООООООО м (О
) l
О О
»)
О л
to — л (с) х) -- — t л
I 0 ! l»
О О X э о (0 Д )O
cd 4) О
Х Х О!
Р) 1
Ч(0 (-Ч) Ь|((»4»
» \» (»» (I 1
О)ОООООООΠ— (— (с) .х (с(а л!
Ф О (d 0, 4 О cd 4 .С U. аЕ ХО
ХИ О
1 !
Ы О
О
td 4
0 а(О
Х Х»О
l! О
О U Е
Ф О
Ul t()О
Сс 4) Х Х О
I I
1 0) О
Х О
0i й
egX и Х(©) м
G (с
Х (4
04 !,4 МСЧ () л
ЧО
ХХ «() ОО -0
») »
О с4
Х (4
I сч
Ф
О»
Х О с4 (4
О О (»).
О с4
Х с4 (4» (A
О O
1 Х О с! (л
«Х и) (( м
Х Х I
«ОО 1
OQ OOOO
Р с) хо
Х х v j -луч оюсчи) 1 В
1 О
I 1» х
OQ Х о (!
»! е о
4 О
cd Х
Х Х»О 1
»«»0 а»» tn ct)
»» б (»
ЮЮЮЮСЮ
1.
I
II
1 !
1 лс((чсчс) !
1 с,) и) 1,, t) t) X I а о х о
0(,0 о х v
0((4
l I
QO ма++ (! °
OQOQOO
С) (4 О О (Ч м сч о
I tU
1 а
1 Х ! е
1 ! и
1 о.
1 Х
1 с)
I g
1 и о
1 о
0l е
1 !
1 O оо
«4 с) Ф»
О л
if» (4 Е
Ж оо
О с (сч
I « сч л
+О «4
-.«хо-- «!
«О »4 С(0 0 (.) »4
4 t«
О 4 е0 ж Х
I
1 с » 1
1 х !
1 !
»0
1 (4 1
1
I!
1
1
В.(i; в
I X
1 Х а
I Ь, 1 Р.!
I tt!
) х
I О
«! ((о о!
1 а о ! !(»d V ! о !
М»0»»», («0 0»4
»э н I юс)с)ююююю
I ах о х X o I лс (час.) 0
I » 1 о tll
1 Ю о и
I I
I (4 1 I (а 0)
vvX (toeq«f
tnt o I etdo Хо
Ххul ХаХОХХ
1 в о щ о
1 1
4 О 1
1, Ч (С» «Ь э ч 0 х о б (1OOOQOQ&O
0l X I
5 ° ° ° . ° . ° ° х хсо -(ton((4»nevi
Д С» 0((С»»0»4»0
2 о о х
В О QOQOOQQQ
0) Х О
Х V 1 Л С Ч СЪ С ) 0»О
1 1
1
ы о
td V I
1 с. о
1 »0 Х 1 ° О»« ° а 0 ц»
I и I t I I »» I 7
I !OOOQQOQQ ! е X 1 а о ъ»о м (ч с | «) т»о
\с о
v е х (! е ! х, vuX(toe аo(оа х to с(t0 o(еао
ы о (v
1 (О I
»0 Х 1 м»0 (0 с («»0»з»о о
Q —.. О Q Q Ю С.. а о
ztO I — l «):ЧСЧС т»О о Х
I оох(, l е о юю!
I
I .I Ю
1 (»
1 0(1
Э а х !
1 а
ctl х
to о
1
1 в
1. а
0l и
1 о, х (с« ! 5 ф
Э
Ц
0l (:(
