Контактное устройство

<»> 7I8953

Ъ г Ь,..; .:. .... Л

Ц

ФЕЙ 1.". А H И Е

Союз Советских

Социалистических

Республик

ЗОБРЕТЕ Н ИЯ

АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (51)M.Êë Н 05 К 1/04

Дополнительное к авт. свид-ву —

), Заявлено 07.08.78 (21) 2652707/18-21

l I рисоединением заявки—

Мосудар твевный комитет

СССР

Приоритет —.

) Опубликовано 28.02.80. Бюллетень ¹ 8 (53) УДК 621.3.049.67 (088.8) по делам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 28.02.80 (72) Авторы изобретения

Б. В. Бавыкин и Ю. А. Яблоков. (71) Заявитель

Г

Ф. (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО

1 ".. 2

Изобретение относится к области элек. тронной техники и может быть использовано в системах йзмерения сопротивлення плоских пленочных резисторов и резистивных сборок.

Известно контактное устройство для контроля: полупроводниковых структур"; со держащее предметный стол с механизмом . перемещения, измерительные зонды и оптическую систему (1).

Недостатками этого устройства являются сложность и малая производитель- ность,из-за выполнейия операции совмеще ния, а также практическая невозможность перемещения полупроводниковой пластины с одновременным измерением электрических параметров структуры.

Наиболее близкое к изобретению техни- ческое решение — контактное устройство, содержащее основание для установкй подложки резисторов, механизм перемещения, датчики-щупы, расположенные -на диэлектрической пластине, направляющие диэлектрической пластины и электромагниты (2).

Ошибки в измерении параметров обусловлены разной величиной контактного сопротивления при последоватеЛьных измерениях одного и тбго же измеряемого "элемента. /

Цель изобретения — повышение надежности контактированля и точноспи измерения, Поставленная цель достигается тем, A ro контактное устройство, преимущественно для. контроля сопротивления пленочных резисторов, содержащее осйование для установки подложки резисторов, механизм пе- ремеше ния, -датчсгки- щ и ы;" расположенКьге "" " на диэлектрической пластине, направляющие диэлектрической пластины и электромагйиты, снабжено рамкой с пружинами . растяжения, при этом диэлектрическая пла- стина с датчиками-щупами закреплена на пружинах растяжения рамки, электрома;ниты расположены на диэлектрической пластине, а основание выполнеНо из магнитного д|атериала.

На фиг. 1 схематично показано предлагамое устройство в разрезе; на фиг. 2 то же, вид сверху.

Контактное устройство содержит основание — двухкоординатный стол 1 из Магнйтного материала "с системой управления, рамку 2 с жестко закрепленными на - ней инструментом 8 ппооддггооннкки и ((ннааппррииммеерр, лазером) и направляющими 4. На направляющих над столом закреплена рамка 5, на которой устанавливаются ф иксаторы 6. Вну1ри рамки 5 на растягнвающйх пружинах 7 1

7 Ч

Г, \ жю. подвешена пластина 8 йз "диэлек "еского Применение, пружин в сочетании с элекщупами 9 из "немагнитного материала ц - ство переходиого контактного сопротивле-- двумя" электромагйитами 10, ПойФЁейие . - йия в процессе подгонки прй перемещении

-- плас пины 8 фйксируется "относительно ин- 5 обрабатываемого резистора относительно

7.и фиксаторами б. - .:;=-; -- - - =-:;=:-,--=". -==-:= -"-"- -"- - сбкращает время, необходимое на отдельющим образом": "=-, "=: : ". : .-.-"". -, ." =,, "-, сить йроизводительность установки. Кроме

На столе 1 закрепляется подложка 11 10 того, йостоянство контакта в процессе полве *"м. -.".. -,: -:-----::::::::::---"-:- -- - -,-::,---" :.:--;::;--;:- -:::. - в гйтся столом в зону койтактйрованйя дат чиков-щупов 9, вклю гаТотся" электромагнй- ",, Ф о р м" у л"а "й з о б р е т е н ты 10, KoTopbIe, притягиваясь к столу f, 15 -. - .---.--. опускают пластину 8. Фиксаторы б .выхо- . Койтактное устройство, преимуществендя г из зацепления с пластиной 8, а матчи- " """но для"койтроля сопропивления пленочных щадками резистора и "проИсгбК Гт Уййе о- . " гаЮВки "подложки резисторов, механизм противленяя резистора. Далее стол 1 начи- R йеремещейия датчики-щупы; расположенЙмюнВЧ ЮР5 -,- -,- """ - * Ъ: вв - ф!!: .тениях, ripA-.ýòîì пластина 8 с датчиками,- тромагнитй, от"л и ч а ю ще ес я тем,- что, щупами 9, йрлкрепленная к столу 1 элеК- с целью повййеййя надежности контакти.Лом. Рамка 2 с закрепленными на HQH ин-,, жено--рамкой с пружинами растяжения при струментом 8 подгонки (лазером),-направ- Ж этом дйэлЕ ктрическая пластина с датчикаляющими 4 и рамкои "5 остаётся в йро - " -, ми-щупами закреплена на пружинах расжены" на диэлектрической пластине,. а ос нзмеренйя-электромагнйты 10 отключают "- ала - стяг вающимы пружинаьы 7 возвращается Йсточнйки информаций; принятые во :.. вь.: - :---- :: :-:. - н.: . тельно фиксируется относительно- йнстр -, . 1. Авторское свидетельство СССР мента подгонки (лазера) фиксаторами б. № 489165, кл. Н 01 h 21 66, 1973.

После этого ""система""" управления- Стол;, . — 2. Авторское сйидетельство ССС1- „. мь кф". а ... =-.: ""., . - -, - .. ., К.":, -Ф

Ф-... „.;,, - . -:. .:, ";. -„= -„: ......„...: . - "," =-, - -:- - Л -. =-. -"-.—, A@ =Ьм1фЯрй = -в И- - . ": 4 -=-м °, -.. ° = " "- -:-. = -" Ж9: —:-у

7l8953 с ф!, Я

С. t

Фи .Z

Заказ 110/181 Изд. № 195 - -. Тираж 889: Подписное ,НПО «Поиск> Государственного комптефа СССР по делая изобретений и открытий

113035, Москва, 3К-35, Раушская иаб.; д. 4/5

Тип. Харьк..фил; пред. «Патент»

Редактор Е, Караулова

Составитель О. Кудрявцева

Техред В, Серикова Корректор С. Файн