Вакуумная электропечь

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<">663996 ф 4 г/ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлемо0 104 77 (21 ) 24 679 2 4/2 2-0 2 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)М. Кл.2

F 27 В 1/10

Государственный комнтет

СССР но делам нзобретеннй н открытий (53) УДК 621.783. ,244( (088. 8) Опубликовано 2505.79. Бюллетень Йо 19

Дата опубликоеанил описания 2 05.79 (72) Авторы изобретения

С.П. Чернушевич и П.И. Шестаков (71) Заявитель" (54 ) ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

Изобретение относится к низкоте.лпературным вакуумньм электроцечам сопротивления периодического действия н найдет применение в термических цехах мелкосерийного и серийного производства, например, для термообработки полупроводниковых приборов— резисторов, пленочных микросхем и т.п.

В режиме разогрева теплопроводный

2О. экран 5 сглаживает искажения температурного поля, вносимые нагревателем 3 и змеевиком 4 (в режиме нагрева змеевик, естественно, не охлаждается), т,е. теплопроводный экран 5 работает как выравнивающий экран.

В режиме охлаждения лучистая энергия нагретого иэделия 6 принимается теплопроводяым экраном 5 и отводится хладагентом, циркулирующим через змеИзвестна вакуумная печь, содержа-: щая нагревательную камеру, которая включает охлаждаемый корпус, экранную теплоизоляцию и нагреватели (1).

Однако эта печь имеет относительно большой разброс (перепад) температур по рабочему объему печи (до 30 С) и низкую производительность из-за длительного охлаждения изделия после окончания термообработки.

Известна вакуумная электропечь, имеющая корпус с теплоизоляцией и концентрнчно размещенные в нем нагреватель и водоохлаждаемый змеевик (2).

Недостаток ее состоит в том, что змеевик экранирует излучаемое тепло и увеличивает тем самым неравномерность нагрева иэделия и неполностью используется охлаждающая способность

Гзмеевика, так как его теплопередающая поверхность относительно невелика.

Цель изобретения — повышение раз5 номерности нагрева и ускорение охлаждения. . Это достигается тем, что вакуумная электропечь снабжена экраном, установленным концентрично охлаждаемому

1О левику

На фиг, 1 изображена вакуумная электропечь, разрез;. на фиг. 2— узел I на фиг.1.

Электропечь имеет корпус 1, экранную теплоизоляцию 2, нагреватель 3, охлаждаемый змеевик 4 с .установленным на нем теплопроводным экраном 5, и нагреваемое изделие 6.

663996

Формула изобретения

Хлодаге

Фиг 2

Составитель Н. Хузовкина

Техоед М Петко Корректор Г Решетник

Тираж 695, Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР .по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35с Раушска" наб.с д. 4 5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная,4 редактоо Л. Лашмова

Заказ 2975/37 евик 4, тем самым общая теплопередающая поверхность увеличивается.

Вакуумная электропечь за счет оо лее равномерного нагрева иэделия улучшит качество термообработки и за счет уменьшения времени охлаждения увеличит производительность печи. 5

Вай уййая электропечь, содержащая корпус с теплоизоляцией, концентрич- 10 но размещенные в нем нагреватель и охлаждаемый змеевик, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения равномерности нагрева и ускорения охлаждения, она снабжена экраном, установленным концентрично и внутри охлаждаемого змеевика.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Свенчанский A.Ä. Электрические промышленные печи. М., Энергия, 1975, ч. 1, с. 148, 2, Авторское свидетельство СССР

Р 372285,. кл. С 21 D 9/00, 1969