Охлаждаемая ловушка

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (63l672 г) (61) Дополнительное к авт. свид-вуЛь. 27716;- (22) Заявлено19.08.76 (21) 2398809/25-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано05.11.78.Бюллетень Ле 11 (45) Дата опубликования описания 15.11.78 (51) М. Кл

F 04 B 37/ОЬ

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изооретений и открытий (53) УДК 621.384. ,6(088.8) Л. С. Гуревич, Г. Л. Саксаганский, A. Г. Сорокин и С. С. Турченко (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ОХЛАЖДАЕМАЯ ЛОВУШКА

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к высоковакуумным откачным устройствам, Оно может быть использовано в промышленных и исследовательских установках, работающих в области высокого и сверхвысокого вакуума. 5

B основном изобретении по авт.св.

% 277169 охлаждаемая ловушка для улав= ливания паров раб очи х веществ нас ос о в содержит подвижные защитные элементы с приводом, позволяющим плавно изме- о нять зазоры между ними. Такие ловушки входят в состав высоковакуумных и сверхвысоковакуумных средств откачки, таких как геттерные, геттерно-ионные, магниторазрядные и некоторые другие насосы.

Однако применение подобных ловушек значительно снижает быстродействие насосов, так как создается дополнительное сопротивление потоку откачиваемого газа, входящего в насос.

Цель изобретения — увеличение быстродействия откачных устройств, использующих ловушки указанного типа.

Поставленная цель достигается тем, что в охлаждаемой ловушке на поверхность подвижных элементов нанесен слой

re cpa.

На чертеже показана охлаждаемая ловушка, установленная в откачном устройстве.

Охлаждаемая ловушка 1 с поворотными пластинами 2 установлена на входном сечении охлаждаемого корпуса 3, являющегося непосредственным откачиваюшим элементом насоса. Поворот пластин осуществляется с помощью тяги 4 от привода 5, расположенного на внешней стороне корпуса насоса. Испарение геттера производится испарителем 6. Перед испарением пластины с помощью привода 5 и тяги 4 устанавливаются под углом 45 о к оси. Вместе с остальными поверхностями насоса они образуют оптически непрозрачную ловушку для паров испаряемого геттера. Во время испаренич поворотные пластины покрываются слоем геттера и по окончании испарения автоматически поворачиваются, устанавливаясь под yr631672

Охлаждаемая ловушка по авт.св.

М 277169, о т л и ч а ю ш а я с я, тем, что, с целью увеличения быстродействия вакуумных агрегатов на ее основе, 10 на поверхность подвижных элементов нанесен слой геттера.

Составитель А, Сенчихин

Редактор Т. Орловская Техред 3. Фанта Корректор Д. Мельниченко

Заказ 6312/34 Тираж 795 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 о лом 90 к оси ловушки. Тем самым увеличивается вероятность поглощения газового потока геттером, осажденным на поверхностях пластин охлаждаемой ловушки..

Таким образом,. защитная ловушка становится 5 наряду с охлажденным корпусом, непосредственным откачивающим алементом,что приводит к увеличению быстродействия устройства в целом.

Использование изобретении позволит увеличить быстродействие различных о качных средств, включающих зашитные ловушки.

Формула изобретения