Способ определения коэффициента отражения электронов по энергии

Союз Советских

Социвлистичвских

Республик

О fl И C А Н И Е tttl 619985

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 31.05 76 (21)2365853/18-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано15.08.78.Бюллетень М 30 (45) Дата опубликования описания 2.2,03. Ь (51) М. Кл

Н 01 1 37/00

Государственнь и комитет

Совета Министров СССР по делам иэаоретений и открытий (53) УДК 621.385..832 (088.8) A. И. Вейник, В. И. Прилеппн, 11, Л. Поболь, В. Л. Бэндаренкэ и В. М. Алехнович (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

Физико-технический институт АН Белорусской CCP (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕН ТА

ОТРА>КЕН11Я ЭЛЕКТРОНОВ ПО ЭНЕРГИИ

Изобретение относится к области экспериментальной физики, изучающей взаимодействие электронного пучка с веществом и может быть использовано при рассмотрении поведения потока электронов в электронно-лучевых плавильных и сварочных устройствах.

Известны способы определения коэффициента отражения электронов (1), (2), основанные на облучении мишени потоком электронов, измерении первичного и вторичного токов, тока мишени, по которым и определяется,коэффициент отражения электронов по энергии.

Известен способ определения коэффициента отражения электронов по энергии, основанный на облучении мишени в твердом состоянии потоком электронов, ускоренных анодным напряжением у„порядка тысяч вольт и измерении первичных и вторичных токов (3) .

Существенным недостатком прототипа является то, что определение энергии отраженных электронов производится непосредственно по токам, величина которых очень мала (порядка микроампер) и для их точного измерения требуется дорогостояшая аппаратура. К тому же пезначитсльныс погрешности при их измерении оказывалп большое влияние на конечный результат, поэтому точность определения коэффициента отражения электронов по энергии состав ляет 5%

Целью изобретения является повышение точности измерений.

Цель достигается тем, что в способе, основанном на облучении мишени потоком электронов, ускоренных анодным напряжением, 10 о одновременно с облучением мишени потоком электронов на нее подают дополнительное напряжение в интервале от 20 B до анодного и измеряют температуру нагрева мишени, потом облучение мишени прекра„. щают, осуществляют косвенный подогрев мишени до той же температуры tl определяют энергию, переданную при этом мишени, затем косвенный подогрев мишени прекращают и вновь облучают ее потоком электронов, ускоренных напряжением, равным

2о сумме начального анодного и дополнительного напряжений и измеряют полученное значение температуры нагрева мишени, потом вторично облучение мишени прекращают, осуществляют косвенный подогрев

619986

ФорПщла агзобретения

Относ и оа дарую

Составитель Ю. Кутепин

Техред О. Луговая Корректор П.Макаревич

Тираж 960 Подписное

Редактор И. 1Нубина

Заказ 4518/48

11HHHI IH Государственного комитета Совета Министров СССР по лелам изобретений и открытий

1 1 8085, Москва, Ж -35, Раушская наб., л. 4/5

Ф ил и ал 11Н П «Патент», г. Ужгород, ун. 1! роектнаи, 1

Способ определения коэффициенты отражения электронов по энергии, основанный на облучении минн ни потоком электронов, ускоренных анодным напряжением, отли5 чаюи4ийся тем, что, с целью повышения точности измерений. одновременно с облучением мишени указанным потокам электронов на нее подают дополнительное напряжение в интервале от 20 В до анодного н измеряют 4п температуру нагрева мишени, потом облучение мишени потоком электронов прекращают, осуществляют косвенный подогрев мишени до той же температуры и определяют энергию, переданную при этом мишени, затем косвенный подогрев мишени прекращают и вновь облучают ес потоком электронов, ускоренных напряжением, равным сумме начального анодного и дополнительного напряжений и измеряют полученное значение температуры нагрева мишени, потом вторично облучение мишени прекращают, осуществляют косвенный подогрев ее до полученного значения температуры н определяют энергию, переданнук> при этом мишени, а затем определяют коэффициент строения электронов по энергии как разность между единицей и отношением энергий, переданных мишени при втором и первом кос венных подогревах.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

I. Патент США . й1 о 3775610, кл. Н 01 j 37/ 26, 1973.

2. Добрецов Л. Н., Гомоюнова М. В.

Эмиссионная электроника; М., Наука, 1966, с. 317 — 318.

3. Бронштейн И. М., Фрайман Б. С.

Вторичная электронная эмиссия. М., «Наука», 1969, с. 16 — 19.