Способ изготовления кварцевых резонаторов

ОНИ(:АНКЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) ЬВ ЬОХ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 311? 74 (21) 2092145/18-09 (51) М. Кл.

2Н 03 Н 3/02 с присое)аинением заявки №

Гаайдаратввнный наынтвт

Саввта а(ннистрав СССР аа даная иаабрвтвний и атнрытнй (23) Приоритет (43) Опубликовано0501.78. Бюллетень № 1 (45) Дата опубликования описания 1L01.78 (53) УДК

621.372.412 (088.8) (72) Авторы изобретения

В.И. Дюжиков, Л.A. Любимов, Н.Г. Васин, А.И. Чурсин и Н.М. Литинская (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНА—

ТОРОВ

«1

Изобретение относится к электрон,ной технике и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов.

Известен способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на шли-. 5 фовке, ультразвуковой химической очистке, прокалке, сортировке по чистоте и мягком травлении кварцевых кристаллических элементов(11.

Однако использование этого способа 10 для неполированных кварцевых элементов приводит к получению резонаторов. и монолитных фильтров с неидентичными электрическими параметрами и низкой стабильностью по частоте. 15

Цель изобретения — повышение воспроизводимости электричаских параметров и улучшение стабильности частоты.

Для этого в способе изготовления кварцевых резонаторов после прокладки кварцевые кристаллические элементы подвергают глубокому химиKo-динамическому травлению в интенсивном травителе, например насыщенном растворе бифторида аммония. При этом кварцевым кристаллическим элементам сообщают круговое поступательное движение со скоростью от 0,05 до 0,2 м/сек. Глубокое химико-динамическое травление йроводят вначале при повышенной температуре от +75 до +85 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий трем величинам высоты микронеровностей их поверхности, а затем — при тем.пературе от +20 до +30 С; стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий двум величинам микронеровностей.

Технология способа состоит в следующем.

Производят ориентировку кварцевых кристаллических элементов, затем предварительную механическую обработку (резку, грубое шлифование). После окончательного алмазно-абразивного шлифования кварцевых кристаллических элементов, ультразвуковой химической очистки и прокалки кварцевые кристаллические элементы подвергают дополнительному глубокому травлению с переменным уровнем травления, сообщая в процессе травления круговое поступательное движение в плоскости, параллельной главным поверхностям элементов со скоростью 0,05-0,20 м/с.Травление осуществляется в интенсивном травителе, например в насыщенном растворе бифторида аммония, в два этапа:. при температуре 75 — 85 С стравливает587601

Формула изобретения

Составитель Е. Погиблов

Техред З,Фанта Корректор С.lUBKMap

Редактор A. Мурадян

Тираж 1085 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 151/45

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ся слой кварца т злщиной, равной трем велйчинам высоты микронеровностей шлифованной поверхности кристаллического элемента (первый этап травления), при температуре 20- 30 С стравливается

O слой кварца толщиной, равной двум величинам высоты микронеровностей шлифованной поверхности кристаллического элемента (второй этап травления).

На первом этапе травления шерохо- щ ватость поверхности не изменяется.

Температура раствора на втором этапе травления снижается, с целью исключения раста и уменьшения микронеровностей поверхности кристаллическихэлементов. Движение кристаллов в травителе в указанном выше режиме rioэволяет сохранить геометрическую форму главных поверхностей шлифованного элемента в процессе глубокого травле8HRф

После этого производят дискретную сортировку по частоте, завершающее параллельное мягкае травление, вжигание серебросодержашей пасты, сборку и монтаж основйого элемента резонатора в держатель, вакуумную термообработку, нанесение электродов, герметизацию, вакуумировайие и окончательное измерение параметров готового резонатора.

Предлагаемый способ позволяет значительно сократить время обработки кристалла и уменьшить трудоемкость подготовительных%работ (скорость удаления кварца. О,З мкм/мин, т.е. почти

I на порядок выше, чем при известном способе) .

1. Способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на шлифовке, ультразвуковой химической очистке, прокалке,сортировке по чистоте и мягком травлении кварцевых кристаллически элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизвс димости электрических параметров и улучшения стабильности частоты, после прокалки кварцевые кристаллические элементы подвергают глубокому химикодинамическому травлению в интенсивном травителе, например насыщенном растворе бифторида аммония, при этом кварцевым кристаллическим элементам сообщают круговое поступательное движение со скоростью от 0,05 до 0,2 м/с.

2. Способ изготовления кварцевых резонаторов по п. 1, о т л и ч а ю-! шийся тем, что глубокое химикадинамическое травление производят вначале при повышенной температуре от

+75 до +85 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий трем величинам высоты микронеровностей их поверхности, а затем — при температуре от

+20 до +30 С, стравливая слой поверхности кварцевых кристаллических элементов, соответствующий двум величинам микронеровностей.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

9 462272, >КН 8 ОЗ,Н 3/02, 1972