Устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования

и ц 58О6 66

Союз Советских

Сщиелистнческих

РеспуИнн

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 21.04.76 (21) 2356469/21 с присоединением заявки М (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.11.77. Бюллетень М 42 (45) Дата опубликования описания 15.11.77 (51) М Кл Н 05К 3/00

G 12В 5/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам нзооретений и открытий (53) УДК 621.396.6:

:049,75.002 (088.8) (72) Автор изобретения

Г. О. Захарян (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИРОВКИ УГЛОВОГО ПОЛОЖЕНИЯ

РАБОЧИХ ОРГАНОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности к технике регулирования положения рабочих органов, Известны устройства для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования, содержащие эталонный диск с метками, закрепленный на исполнительном валу рабочего органа и размещенный над диском микроскоп с окуляр-микрометрами (1). Однако известные устройства не обеспечивают высокой точности юстировки.

Цель изобретения — повышение точности юстировки — достигается тем, что устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования, преимущественно в установках для изготовления изделий микроэлектроники, содержащее закрепленный на исполнительном валу рабочего органа эталонный диск с метками и размещенный над диском микроскоп с окуляр-микрометрами, снабжено дополнительным, установленным над эталонным диском микроскопом и закрепленными на диске пластинами с метками с возможностью перемещения каждой из пих относительно диска.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — положение меток, совпадающее с перекрестием микроскопа; на фиг. 3 — положение меток, не совпадающее с перекрестием микроскопа.

Устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования состоит из эталонного диска 1, на котором установлены регулируемые пластины

5 2 с метками 3. Над диском 1 на двух соседних позициях смонтированы микроскоп 4 и дополнительный микроскоп 5 с окуляр-микрометрами б.

Устройство работает следующим образом.

10 Эталонный диск 1, снабженный пластинами

2, равномерно установленными под нужным углом разворота (90 — прп делении на четыре части, б0 — при делении на шесть частей и т. д.), жестко закрепляется на исполнитель15 ном валу 7 рабочего органа, кинематически связанного с диском 8 фиксации, снабженного подвижными элементами 9, взаимодействующими с фиксатором 10.

Метку 3 на пластине 2 совмещают с пере20 крестьем микроскопа 4, после чего рабочий орган поворачивают против часовой стрелки и фиксируют за счет введения фиксатора 10 в паз подвижного элемента 9. Г1ерекрестье дополнительного микроскопа 5 совмещают с меткой 3, которая ранее находилась под микроскопом 4, регулировкой положения подвижного элемента 9 на диске 8, а перекрестье микроскопа 4 совмещают с меткой 3 второй пластины 2 ее смещение» на диске 1. Этими операциямн микроскопы 4 и 5, метки 3 на

580666

10 фиг.! двух пластинах 2 и два подвижных элемента

9 устанавливаются строго под одним произвольным углом.

Эти операции, т. е. поворот исполнительного вала 7, совмещение меток 3 с перекрестием дополнительного микроскопа 5 смещением подвижных элементов 9 на диске 8, а с перекрестием микроскопа 4 — смещением пластин

2 на диске 1, повторяются до тех пор, пока метка 3, находившаяся в начале работы под перекрестием микроскопа 4, вновь займет первоначальное положение.

В этом случае метка 3 под дополнительным микроскопом 5 будет иметь смещения ЛХ относительно его перекрестья, величина которого равна произведению числа делений и на ошибку угла, допущенную при установке подвижных элементов 9, микроскопов 4 и 5 и меток 3 на пластинах 2.

С помощью окуляр-микрометра 6 дополнительного микроскопа 5 эта величина измеряется в мкм, после чего его биссектор смещается в нужную сторону посредством микрометрического устройства на величину смещения, Д,» деленную на число делений, т. е., благоЛ даря чему достигается точная установка заданного угла.

Далее, вышепривсденной последовательностью действий, производится совмещение меток 3 пластин 2 относительно перекрестья микроскопа 4 и биссектора дополнительного

5 микроскопа 5.

Для получения наибольшей точности юстировки углового положения рабочего органа операции повторяются неоднократно.

Формула изобретения

Устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования, преимущественно в установках

15 для изготовления изделий микроэлектроники, содержащее закрепленный на исполнительном валу рабочего органа эталонный диск с метками и размещенный над диском микроскоп с окуляр - микрометрами, о т л и ч а ю щ е е с я

20 тем, что, с целью повышения точности юстировки, оно снабжено дополнительным, установленным над эталонным диском микроскопом и закрепленными на диске пластинами с метками с возмо>кностью перемещения ка>к25 дой из них относительно диска.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3399593, кл. 88 — 24, 1968.

Составитель Н. Блинкова

Редактор Н. Каменская Техред Н. Рыбкина Корректор 3. Тарасова

Заказ 2467/15 Изд. № 912 Тираж 1014 Подписное

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2