Черное светопоглащающее покрытие

(п 533899

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

04I03 C088TcIcMx

Сониалистическик

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.09.74 (21) 2062810/10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.10.76. Бюллетень № 40

Дата опубликования описания 21.10.76 (51) М. Кл. G 02В 1/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.14 (088.8) (72) Автор изобретения

Э. И. Л е вити и а (71) Заявитель (54) ЧЕРНОЕ СВЕТОПОГЛОЩАЮЩЕЕ ПОКРЫТИЕ

Изобретение относится к области оптики, в частности, к черным светопоглощающим покрытиям, и может быть использовано в светозащитных устройствах оптических приборов.

Известны черные светопоглощающие покрытия, получаемые последовательным нанесением в вакууме нескольких слоев металлов и диэлектриков, например алюминия, германия, хрома или платины и моноокиси кремния или кремнезема (1).

Эти покрытия имеют низкую отражательную способность в узкой областями спектра, так как поглощение в них света определяется явлениями интерференции в тонких пленках.

Целью изобретения является получение покрытий с высоким светопоглощением в широкой области спектра и высокой химической стойкостью.

Это достигается применением слоя хроммоноокись кремния, получаемого совместной возгонкой в вакууме, смеси хрома и моноокиси кремния.

Этот слой применяют в качестве сопротивлений — резисторов в интегральных тонкопленочных элементах и схемах B микроэлектронике.

Слой получают в вакууме одновременным испарением из раздельных источников хрома и моноокиси кремния или быстрым испарением микропорций смеси порошков металла и

l диэлектрика с нагретой вольфрамовой ленты.

Толщина слоя лежит в пределах от сотых долей до двух десятых микрона.

Для получения черных светопоглощающих покрытий толщиной 2 мкм и более таблетку из порошкообразной смеси хрома и моноокиси кремния возгоняют методом резистивного нагрева в вакууме при 10 — " мм рт. ст. Соотношение металла к диэлектрику в смеси по весу

10 составляет 1: 1.

На чертеже приведены спектральные характеристики покрытий «роммоноокнсь кремния, нанесенных на оптически полированную поверхность образцов из стали У8А.

15 Коэффициент отражения покрытия при толщине 2 мкм составляет 12 — 15%. Покрытия характеризуются неселективностью коэффициента отражения в широкой области спектра (кривая 1). Покрытия толщиной менее

2О 1 мкм оказываются прозрачными, что проявляется .в периодической зависимости коэффициента отражения от длины волны (кривая 2).

Нанесением интерференционных пленок коэффициент отражения покрытия может быть

25 снижен до весьма малых значений в заданной области спектра. Кривая 3 характеризует коэффициент отр ажения покрытия толщиной

2 мкм с нанесенной двухслойной просветляющей пленкой, состоящей из моноокиси крем30 ния и фтористого магния.

533899

Формула изобретения

»;О 1 re

Длина 8олиь, ЯКР1

0,b

2,2

Составитель В. Белоусов

Текред М. Семенов

Редактор т. Рыбалова

Корректоры: В. Петрова и О. Данишева

Заказ 2697,7 Изд. М 1689 Тираж 654 Подписное

Ц1-1ИИПИ Государствен ого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, iK-35, Рауьискаи наб., д. 4/5

Ти. ографпв, пр. Сапунова, 2

Применение слоя хроммоноокись кремния, получаемого совместной возгонкой в вакууме смеси хрома и моноокиси кремния, в качестве черного светопоглощающего покрытия.

1»отОЧНИКИ ИНфОРМаЦИИ, ПРИНЯтыЕ 8О ВНИмание при экспертизе:

1. Хасс Г. и Тун P. Э. Физика тонких пле5 нок. М., «Мир», 1967, т. 2, с. 313, рис. 29.