Способ склеивания оптоэлектронной пары

ОП ИСАНИЕ

Союз Советских

Социалистических

Республик

<>5!08?1

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт. свил-ву— (22} Заявлено210872 {2!) 1553653/25 (51) М. Кл.

С 01 3 1/04 с присоединением заявки №вЂ”

3 осударстаеииый комитет ссср по делам изобретении и открытий

{23) Приоритет— (53) УДК535.8 (088.8).

Опубликовано 050279. Бюллетень ¹ 5

Дата опубликования описания 1002.79 (72) Авторы изобретения

И.B. Варламов и В.Г. Кирпиленко (71) Заявитель (54) СПОСОБ СКЛЕИВАНИЯ ОПТОЭЛЕКТРОННОЙ ПАРЫ

Изобретение относится к технологии изготовления оптических полупроводниковых приборов — оптоэлектронных пар. Известны способы склеивания оптоэлектронных пар с помощью иммерсионной среды.

При осуществлении известных способов невозможно получить равномерный и точно фиксированный зазор между фотоприемником и светоизлучателем. . Цель предложенного способа — полу" чение равномерного и точно фиксированного зазора между фотоприемником и светоизлучателем.

Согласно изобретению в иммерсионную среду вводят сферические гранулы из диэлектрика, имеющие диаметр, равный требуемому зазору между фотоприемником и светоизлучателем в концентрации не менее5-10/6 d шт/см

2 где 6 — площадь соприкосновения фотоприемника и светоизлучателя, d требуемое расстояние между фотоприемником и светоизлучателем.

Материал шаровых гранул должен удовлетворять следующим требованиям.

1. Электрическое удельное сопротивление (Я ) равно или больше/ иммерсионной среды.

2 ° Температура размягчения должна быть выше температуры плавления иммерсионной среды.

3. Он не должен химически взаимодействовать с материалами фотоприемника и светоизлучателя и иммерсионной средой. Этими свойствами обладают, например, гранулы из кварца.

Гранулы могут вводиться в иммер10 сионную среду либо непосредственно перед ее применением, либо заранее.

Так как в качестве иммерсионной среды возможно применение двух видов материалов: либо полимерных органических, либо легкоплавких халькогенидных стекол, то и вводить гранулы следует с учетом свойств среды. Например, в случае применения в качестве иммерсионной среды полимерной смолы в качестве гранул применяют шарики иэ силикатного или халькогенидного стекла. В полимерную иммерсионную среду перед употреблением добавляют указанное количество гранул, смесь тщательно перемешивают до образования взвеси, Поместив каплю такой иммерсии между фотоприемником и светоизлучателем, осторожно притирают их друг к другу до упора. Так как в зазор между этими элементами попадет

530871

Формула и э обр ете ни я

Составитель А. Шеломова

Техред Э.мужик Корректор М. Демч ик

Редактор Е, Месропова

Заказ 150/48

Тираж 765 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 при данной концентрации 5-10 шт. гранул, они распределяются в одной плос кости, препятствуя их сближению, устанавливая, таким образом, нужное расстояние между ними.

В случае применения в качестве иммерсионной среды легкоплавких халько- 5 генидных стексл гранулы, изготовленные из более тугоплавкого халькогенидного стекла, кварца и т.д., добавляются в расплав халькогенидного стекла, смесь перемешивается, охлаждает- 10 ся и применяется в качестве иммерсионной среды.

Наличие в иммерсионной среде между

ФП и CH 5-10 гранул диаметром 15-100 мкм не влияет на оптические характе- д ристики оптоэлектронной пары, т.к. суммарная площадь гранул значительно меньше площади, по которой осуществляется светопередача, особенно, если, как показывает опыт, наиболее распространение получают пары с эазором 20-25 мкм и площадью « яртопередачи 1 мм . Сферические гранулы из любых материалов размером от 1 до

100 мкм изготовляются методом плазменного распыления, Способ склеивания оптоэлектронной пары с помощью иммерсионной среды, отличающийся тем, что, с целью получения равномерного и точно фиксированного зазора между фотоприемником и светоизлучателем, в иммерсионную среду вводят сферические гранулы из диэлектрика, имеющие диаметр, равный требуемому зазору между фотоприемником и светоиэлучателем в концентрации не менае5-10/9 дашт/см, где б — площадь соприкосновения фотоприемника и светоизлучателя, d — гребуемое расстояние между фотоприемником и светоиэлучателем.