Датчик давления

О П И С А Н И Е (и) 50I315

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.10.74 (21) 2065549/18-10 с присоединением заявки № (51) М, Кл.а G 01L 9/04

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.01.76. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 09.04.7б (53) УДК 531.787.91 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. P. Санто, Е. В. Шкварников и В. А. Годзиковский (71) Заявитель

Научно-исследовательский и конструкторский институт испытательных машин, приборов и средств измерения масс (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Гасударственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, в частности к тензорезисторным датчикам давления, предназначенным для измерения малых давлений.

Известны тензорезисторные датчики давления, содержащие корпус, мембрану со штоком, стойки и силовоспринимающие стержни с наклеенными тензоуезисторами, причем соединенные со штоком и стойками стержни расположены под углом к продольной оси датчика.

Расположение стержней под углом к продольной оси датчика значительно повышает чувствительность, но приводит к появлению помимо полезной деформации растяжения— сжатия еще и к паразитной деформациями изгиба, поэтому известные тензорезисторные датчики давления имеют нелинейность характеристики преобразования выходного сигнала, обусловленную этой деформацией.

В предлагаемом датчике с целью уменьшения нелинейности характеристики преобразования выходного сигнала силовоспринимающие элементы, выполненные в виде пластин, отношение высоты которых к ширине составляет не менее единицы, размещены в плоскости, перпендикулярной к плоскости мембраны, а оси размещенных на боковых поверхностях пластин тензорезисторов образуют с осью датчика угол 40 — 50 .

На фиг. 1 показан предлагаемый датчик давления, общий вид; аа фиг. 2 и 3 — разрез по А — А на фиг. 1 (варианты конструкции).

Преобразователь состоит .из мембраны 1 со штоком 2, стоек 3, соединенных пластинами 4 со штоком, и тензорезисторов 5,и б, размещенных на боковых поверхностях пластин 4. В полость 7 преобразователя через штуцер 8 подается давление. Сверху датчик закрыт кожухом 9, на котором установлен разъем 10. Тен1О зорезисторы 5 и б соединены в мостовую схему, причем тензорезисторы 5, находящиеся на одной стороне пластины 4, воспринимают деформацию сжатия, а тензорезисторы б, расположенные на другой стороне, повернуты отно15 сительно тензорезисторов 5 на 90 и воспринимают деформацию растяжения.

Датчик давления работает следующим образом.

Измеряемое давление через штуцер 8 пода20 ется в полость 7 и вызывает появление силы, приложенной к штоку 2 и направленной перпендикулярно к плоскости мембраны 1. Под действием этой силы в пластинах 4 вследствие того, что они расположены перпендикулярно к

25 плоскости мембраны 1 и их высота равна или превышает их ширину, возникает деформация сдвига, причем максимальная деформация будет направлена под углом 45 к продольной оси датчика, что и обусловливает соответству3о ющее расположение осей базы тензорезисто501315

Фиг. 2

Составитель Л. Никиточкина

Техред Е. Подурушина Корректор Е, Рожкова

Редактор Г. Яковлева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 566/3 Изд. ¹ 1043 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5